PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS MICROMECANICOS QUE CONTIENEN UN MATERIAL GETTER Y DISPOSITIVOS FABRICADOS DE ACUERDO CON EL MISMO.
(09/12/2010) Procedimiento para la fabricación de dispositivos micromecánicos, que comprende una etapa de unión directa entre dos partes de soporte, una de las cuales está fabricada a base de silicio y la otra está fabricada de silicio o de un material semiconductor, cerámico u óxido, de manera que elementos funcionales y posibles elementos auxiliares del dispositivo se encuentran presentes, como mínimo, sobre una de estas partes de soporte y en el que un depósito de material getter se encuentra presente sobre una parte de soporte de silicio, comprendiendo las siguientes etapas: proporcionar una primera parte de soporte sobre la que los elementos funcionales y posibles elementos auxiliares del dispositivo son incorporadas; disponer una segunda parte de soporte …