PROCESO DE PROTOTIPADO MULTIPLE PARA MICROSENSORES MECANICOS DE TIPO CAPACITIVO.
(02/02/2011) Proceso de prototipado múltiple para microsensores mecánicos de tipo capacitivo, basado en la identidad del valor de un determinado número de parámetros geométricos: en los microsensores mecánicos, con los pasos de:- Definir en un sustrato microestructuras .- Definir sobre las microestructuras una placa de condensador .- Posicionar en una segunda capa de sustrato superior una segunda placa de condensador rígida.- Definir en una tercera capa de sustrato inferior , unas cavidades .- Apilar y pegar las tres capas de sustrato (5, 8 y 10)