Accesorios que comprenden medios magnéticos para sostener piezas de trabajo simétricas rotatorias.

Un sistema de accesorio que comprende varias partes, siendo al menos una de las partes una pieza de sujeción para sujetar una pieza de trabajo que comprende sustancias ferromagnéticas,

comprendiendo dicha pieza de trabajo un cuerpo con dos extremos y exhibiendo a lo largo de un eje giratorio una forma simétrica con una dimensión radial y con superficies que pueden tratarse por medio de un proceso de tratamiento de vacío asistido por plasma, comprendiendo dicha parte de retención medios magnéticos que generan un campo magnético con una fuerza magnética en la dirección del eje rotatorio que es lo suficientemente alta para sostener la pieza de trabajo si la pieza de trabajo se coloca en una superficie de sujeción de la parte de sujeción de tal manera que uno de sus extremos esté en contacto con la superficie de sujeción de la parte de sujeción, caracterizado porque:

- los medios magnéticos de la parte de sujeción están diseñados y dispuestos de tal manera que las líneas de campo magnético del campo magnético generado se limitan al espacio ocupado con partes del sistema de accesorio o cuerpo de la pieza de trabajo, en donde la parte de sujeción comprende una (2) de accesorio y un yugo (6) del imán o una placa (63) de enlace de imán, en donde:

- si comprende el yugo (6) del imán:

o el yugo (6) del imán que comprende una abertura, un diámetro exterior y un diámetro interior, colocándose dicho yugo magnético entre una superficie de la base del accesorio y la superficie de sujeción de la parte de sujeción de manera que dicha abertura se coloque en el lado opuesto al lado de la base del accesorio, al menos un imán (51) colocado dentro del yugo (6) del imán de manera que el al menos un imán (51) se mantenga circunferencialmente a la misma distancia del yugo (6) del imán por un espacio de aire (53) o por un espaciador (55) no magnético, y

- si comprende placa (63) de enlace: o la placa (63) de enlace de imán colocada entre una superficie de la base del accesorio y la superficie de soporte de la parte de sujeción, y al menos un par de imanes (61) colocados entre la placa (63) de enlace de imán y la superficie de sujeción de la parte de sujeción de manera que cada imán de dicho al menos un par de imanes (61) esté posicionado uno al lado del otro con polaridades opuestas y formando un diámetro exterior,

de modo que, en el caso de utilizar el sistema de accesorio para el tratamiento de la pieza de trabajo por medio de un proceso de tratamiento de vacío asistido por plasma, se evita una generación de plasmas laterales causados por las líneas del campo magnético del campo magnético generador durante la ejecución del tratamiento.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2016/053176.

Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.

Inventor/es: BECKER, JURGEN, DR., KIM,DONG JU, KEPLINGER,CHRISTIAN, VESTER,ARMIN.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/50 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Portasustrato.
  • C23C16/458 C23C […] › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el proceso utilizado para mantener el sustrato en la cámara de reacción.
  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).

PDF original: ES-2703692_T3.pdf

 

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