Dispositivo de revestimiento para el revestimiento de un sustrato, así como un procedimiento para el revestimiento de un sustrato.

Dispositivo de evaporación de un material diana (200, 201, 202) que comprende una cámara de proceso (3) para el establecimiento y el mantenimiento de una atmósfera de gas,

que presenta una entrada (4) y una salida (5) para un gas de proceso, así como un ánodo (6, 61) y un cátodo de evaporación (2, 21, 22) cilíndrico realizado como diana (2, 21, 22), comprendiendo dicho cátodo de evaporación (2, 21, 22) cilíndrico el material diana (200, 201, 202), estando prevista además una fuente de energía eléctrica (7, 71, 72) para generar una tensión eléctrica entre el ánodo (6, 61) y el cátodo (2, 21, 22), de manera que por medio de la fuente de energía eléctrica (7, 71, 72) el material diana (200, 201, 202) del cátodo (2, 21, 22) cilíndrico se puede convertir a una fase de vapor, y estando prevista una fuente de campo magnético (8, 81, 82) que genera un campo magnético, estando previstos en la cámara de proceso (3) al mismo tiempo un cátodo de pulverización (2, 21) y un cátodo de arco voltaico (2, 22), caracterizado por que el cátodo de pulverización (2, 21) es un cátodo de pulverización (2, 21) cilíndrico y el cátodo de arco voltaico (2, 22) es un cátodo de arco voltaico (2, 22) cilíndrico, y una posición de la fuente de campo magnético (8, 81, 82) puede ajustarse en el interior (I) del cátodo de pulverización (2, 21) cilíndrico y/o en el interior (I) del cátodo de arco voltaico (2, 22) cilíndrico con respecto a un sentido circunferencial, estando realizado y dispuesto en la cámara de proceso un solo cátodo de evaporación (2, 21, 22) de tal forma que el cátodo de evaporación (2, 21, 22) puede usarse no sólo como cátodo de pulverización (2, 21), sino también como cátodo de arco voltaico (2, 22).

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E09161905.

Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.

Inventor/es: ERKENS, GEORG, VETTER, JORG, DR..

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/22 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › caracterizado por el proceso de revestimiento.
  • C23C14/32 C23C 14/00 […] › por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
  • C23C14/35 C23C 14/00 […] › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
  • H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2774167_T3.pdf

 

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