Cámara de evaporación por arco voltaico con una fuente de evaporación por arco voltaico al vacío.
Cámara de evaporación por arco voltaico con una unidad de suministro de energía (11) y con una fuente de evaporación por arco voltaico al vacío (1) que comprende un bloque de soporte (7) y una fuente de campo magnético (2) anular dispuesta en el bloque de soporte (7) y un cuerpo de cátodo (3) con un material de evaporación (31) como cátodo (32) para generar una descarga de arco voltaico sobre una superficie de evaporación (33) del cátodo (32),
en la cual el cuerpo de cátodo (3) está delimitado en sentido axial, en un primer sentido axial, por un fondo de cátodo (34) y, en un segundo sentido axial, por la superficie de evaporación (33), y la fuente de campo magnético (2) anular está polarizada de forma paralela o antiparalela a una normal de superficie (300) de la superficie de evaporación (33) y dispuesta de forma concéntrica con respecto a la normal de superficie (300) de la superficie de evaporación (33), y con un anillo de amplificación de campo magnético (4) que en un lado opuesto a la superficie de evaporación (33) está dispuesto a una segunda distancia (A2) variable delante del fondo de cátodo (34), y con una resistencia eléctrica (12) y un ánodo (9) primario aislado eléctricamente con respecto al bloque de soporte (7), y en la cual al cámara de evaporación por arco voltaico está unida eléctricamente al ánodo (9) primario a través de la resistencia eléctrica (12), y en la cual la cámara de evaporación por arco voltaico está unida a un polo positivo de la unidad de suministro de energía (11) y el cuerpo de cátodo (3) está unido a un polo negativo de la unidad de suministro de energía (11), caracterizada porque la fuente de campo magnético (2) está situada a una primera distancia (A1) variable con respecto a la superficie de evaporación (33), en un lado, opuesto al fondo de cátodo (34), del cuerpo de cátodo (3).
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E14150385.
Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.
Inventor/es: VETTER, JORG, DR..
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/305 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › para colar, fundir, evaporar o decapar.
- H01J37/32 H01J 37/00 […] › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
PDF original: ES-2749721_T3.pdf
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