Sistema de capa de vacío y tratamiento con plasma, y procedimiento para recubrir un sustrato.

Un sistema de tratamiento con plasma y recubrimiento de vacío que comprende:



un conjunto de plasma (16) dispuesto de modo tal que mira a un sustrato (22), incluyendo el conjunto de plasma: una diana magnetrónica (Ts) que tiene una superficie diana;

un cátodo magnetrónico con un borde largo, un borde corto y un polo magnético, estando dicho polo magnético dispuesto para formar, en el uso, un circuito de pulverización catódica dentro de la diana magnetrónica (Ts) y una barrera electromagnética;

un ánodo (As) conectado eléctricamente al cátodo magnetrónico;

un suministro de energía de cátodo magnetrónico (Ps) conectado al cátodo magnetrónico y al ánodo;

al menos dos electrodos de descarga de arco remoto (44; 28);

un suministro de energía de descarga de arco remoto conectado entre los al menos dos electrodos de descarga de arco remoto (44; 28), y dispuesto para generar al menos una descarga de arco remoto separada del cátodo magnetrónico y adyacente a la diana magnetrónica, de modo tal que, en el uso, la descarga de arco remoto se extienda a lo largo de una dirección paralela al borde largo del cátodo magnetrónico, y de modo tal que, en el uso, la descarga de arco remoto quede confinada dentro de un volumen de arco remoto adyacente a la diana magnetrónica, estando el volumen de arco remoto definido por la superficie de la diana en un lado y la barrera electromagnética en todos los otros lados;

una campana de cátodo y una de ánodo, de la descarga de arco remoto (18b), que se extiende sobre la descarga de arco remoto y por el borde corto del cátodo magnetrónico; y

una campana de ánodo de descarga de arco remoto (8b); comprendiendo el sistema de tratamiento con plasma y recubrimiento de vacío, además:

un sistema magnético dispuesto para crear líneas de campo magnético que, en el uso, se extienden dentro de y se confinan en un plasma en frente del conjunto del plasma y el sustrato.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E14190737.

Solicitante: VAPOR TECHNOLOGIES, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 6400 DRY CREEK PARKWAY LONGMONT CO 80503 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.

Inventor/es: GOROKHOVSKY,VLADIMIR, GRANT,WILLIAM, TAYLOR,EDWARD, HUMENIK,DAVID.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/35 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
  • H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2792911_T3.pdf

 

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