Fuente de evaporación por arco.
Una fuente de evaporación por arco, incluyendo:
un blanco (3) a fundir y evaporar de una superficie de extremo delantero (3a) del blanco (3) por descarga de arco;
y
al menos un imán (4) dispuesto en una posición separada de una superficie lateral (3b) del blanco (3) radialmente con respecto al blanco (3), siendo la superficie lateral (3b) continua con una periferia de la superficie de extremo delantero (3a) del blanco (3),
caracterizada porque
el imán (4) está dispuesto con el fin de formar un campo magnético que satisfaga las condiciones a) y b) siguientes, en la superficie lateral (3b) del blanco (3), en una zona de hasta 10 mm desde la superficie de extremo delantero (3a) del blanco (3) en una dirección axial del blanco (3), siendo la dirección axial normal a la superficie de extremo delantero:
a) un ángulo que las líneas de fuerza magnética (FL1) del campo magnético forman con la superficie lateral (3b) del blanco es de 45 grados o menos, extendiéndose las líneas de fuerza magnética (FL1) del campo magnético hacia fuera en la dirección radial (B) mientras se aproximan a la superficie de extremo delantero (3a) del blanco (3) en la superficie lateral (3b) del blanco (3); y
b) una componente (Bx) de la intensidad de las líneas de fuerza magnética a lo largo de la dirección axial del blanco (3) es de 200 G o más.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/JP2015/069340.
Solicitante: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.).
Nacionalidad solicitante: Japón.
Dirección: 2-4 Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku Kobe-shi, Hyogo 651-8585 JAPON.
Inventor/es: KUROKAWA,YOSHINORI, HIROTA,SATOSHI, TANIFUJI,SHINICHI.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/32 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
PDF original: ES-2764281_T3.pdf
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