Fuente de plasma.

Fuente de plasma en una cámara de vacío (1) para generar un plasma (19) en la cámara de vacío (1),

comprendiendo la fuente de plasma una carcasa de fuente (3) con una abertura (17) que se adentra en la cámara de vacío (1) y estando previsto en la carcasa de fuente (3) un filamento (9) al cual, a través de líneas eléctricas que se han pasado de forma aislada a través de la carcasa de fuente (3), se puede aplicar una tensión de calentamiento (Vcal.) de tal modo que se puede calentar el filamento (9) mediante un flujo de corriente, estando dispuesta la carcasa de fuente (3) de forma eléctricamente aislada de la cámara de vacío (1) en la misma, caracterizada por que:

• están previstos medios que permiten medir la caída de tensión Ufloat entre la línea de suministro al filamento (9) y la carcasa de fuente (3) como característica del estado de la caída de potencial entre el filamento (9) y el plasma (19) encendido en el interior de la carcasa de fuente (3) y

• están previstos medios para regular la tensión de calentamiento (Vcal.) que están configurados de tal manera que, como señal de regulación, pueden procesar el valor medido Ufloat de tal manera que se puede mantener constante la caída de tensión Ufloat y, por tanto, se puede mantener prácticamente constante la temperatura del filamento (9).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2012/003623.

Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.

Nacionalidad solicitante: Suiza.

Dirección: Churerstrasse 120 8808 Pfäffikon SUIZA.

Inventor/es: LENDI,Daniel, KRASSNITZER,SIEGFRIED, HAGMANN,JUERG.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).

PDF original: ES-2704708_T3.pdf

 

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