CÁTODO PARA PULVERIZACIÓN EN VACÍO.
(28/12/2011) Cátodo para pulverización en vacío cuyo soporte de diana está constituido por un dispositivo de refrigeración, caracterizado por comprender una base de soporte sobre la que está superpuesto un marco que presenta en el mismo plano, como mínimo, un brazo (11b) para delimitar canales de circulación (11a) de un fluido de refrigeración, recibiendo dicho marco en superposición una membrana 4, estando montados conjuntamente en la periferia la base , el marco y la membrana