Procedimiento y dispositivo para ahorrar energía y al mismo tiempo aumentar la velocidad de paso en las instalaciones de recubrimiento al vacío.

Dispositivo de recubrimiento mediante pulverización, que se compone de en una serie de segmentos de pulverización (3) y de segmentos de separación de gases (2) con un plano de sustrato continuo (1),

en el que los segmentos de pulverización (3) están formados por una cubeta de caldera (12) con un dispositivo de transporte interno (11) para el transporte de sustratos (1) y por al menos una tapa de la caldera (4) conectada a la cubeta de caldera (4) por medio de una brida de la caldera (6), disponiéndose la brida de la caldera (6) en la proximidad inmediata por encima del plano de sustrato (1) y encontrándose un bloque de apoyo de cátodos (5) con objetivo (8) y los canales de entrada de gas (10) en las proximidades inmediatas del sustrato con chapas de protección contra salpicaduras (9) en la tapa de caldera (4),

caracterizado por que

a) para ahorrar energía y aumentar simultáneamente la velocidad de paso, los segmentos de separación de gas (2) presentan en la zona del plano de sustrato (1), una tapa de túnel (14) que se desarrolla a lo largo de toda la longitud del segmento de separación de gas (2), que por medio de uno o varios elementos de elevación y descenso (17) se puede adaptar al grosor del respectivo sustrato (1) de manera que entre el sustrato (1) y la tapa de túnel (14) sólo quede en la altura una hendidura de espacio libre (18) reducida que es absolutamente necesaria para el paso sin perturbaciones del sustrato respectivo (1) y

b) la evacuación de los segmentos de pulverización (3) y/o de los segmentos de separación de gas (2) se produce mediante una o varias bombas de vacío (15), recogiéndose el aire transportado en un depósito de aire (25) de volumen variable y aportándose el mismo durante la posterior reventilación del segmento (3, 2) en cuestión de nuevo a este segmento (3, 2).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/DE2015/000397.

Solicitante: GRENZEBACH MASCHINENBAU GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: Albanusstrasse 1-3 86663 Asbach-Baeumenheim ALEMANIA.

Inventor/es: KLEIDEITER,GERD, KRISCH,THOMAS, FIUKOWSKI,JÖRG, GAWER,OLAF.

Fecha de Publicación: 1 de Mayo de 2019.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/35 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
C23C16/52 C23C […] › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Control o regulación de los procesos de revestimiento.
H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2731237_T3.pdf

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