Dispositivo de medición con un sensor capacitivo microelectromecánico.

Dispositivo de medición (8) con al menos un sensor capacitivo microelectromecánico (9a,

9b) que, para la medición de una desviación mecánica de una masa de prueba (2), presenta electrodos que se pueden mover acercándose unos a otros y alejándose unos de otros, con un integrador de carga que presenta un amplificador de operación (11) que tiene al menos una entrada de amplificador (13a, 13b) unida al sensor (9a, 9b) y al menos una salida de amplificador (15a, 15b) que, a través de al menos un condensador de integración (16a, 16b), está acoplada retroactivamente con la entrada de amplificador (13a, 13b), caracterizado por que la al menos una entrada de amplificador (13a, 13b) está unida a través de un resistor eléctrico de alto ohmiaje (17a, 17b) con una conexión (18) para un potencial eléctrico de referencia de modo común, estando unida la conexión (18) a una fuente de tensión de referencia, por que el amplificador de operación (11), adicionalmente a la al menos una entrada de amplificador (13a, 13b), presenta al menos una entrada auxiliar (20a, 20b) y por que la salida de amplificador (15a, 15b) está unida a través de un filtro de paso bajo (22) con la al menos una entrada auxiliar (20a, 20b).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2009/004868.

Solicitante: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg.

Inventor/es: BUHMANN,ALEXANDER, MANOLI,YIANNOS, HE,LIN, TASCHWER,ARMIN, NORTHEMANN,THOMAS.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01C19/56 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01C MEDIDA DE DISTANCIAS, NIVELES O RUMBOS; TOPOGRAFIA; NAVEGACION; INSTRUMENTOS GIROSCOPICOS; FOTOGRAMETRIA O VIDEOGRAMETRIA (medida del nivel de líquidos G01F;   radio navegación, determinación de la distancia o velocidad mediante la utilización de efectos de propagación, p. ej. efecto Doppler, tiempo de propagación, de ondas de radio, disposiciones análogas que utilicen otras ondas G01S). › G01C 19/00 Giróscopos; Dispositivos sensibles al giro con masas vibratorias; Dispositivos sensibles al giro sin masas móviles; Medida de velocidad angular usando efectos giroscópicos. › Dispositivos sensibles al giro con masas vibratorias, p. ej. sensores de velocidad vibratoria angular sobre la base de las fuerzas de Coriolis.
  • G01C19/5726 G01C 19/00 […] › Procesado de señal.

PDF original: ES-2571053_T3.pdf

 

Dispositivo de medición con un sensor capacitivo microelectromecánico.

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