Circuito de accionamiento y de compensación para estructuras-MEMS capacitivas.

Circuito para controlar una estructura-MEMS capacitiva con al menos un elemento oscilante (102,

104) excitable a un movimiento oscilante y con una unidad de excitación (CFB1, CFB2) electroestática, que posee al menos una primera y una segunda conexión de entrada, en el que el circuito presenta:

un generador de alta tensión (110) para la generación de una alta tensión a partir de una tensión de alimentación, en el que el generador de alta tensión (110) se puede conectar con las dos conexiones de entrada,

al menos un primero y un segundo condensador de bomba (CFC1, CFC2) para cargar la unidad de excitación electroestática (CFB1, CFB2), en el que una primera conexión del primer condensador de bomba está conectada con el generador de alta tensión y se puede conectar con la primera conexión de entrada, y una segunda conexión del segundo condensador de bomba está conectada con el generador de alta tensión (110) y se puede conectar con la segunda conexión de entrada,

una unidad de control (114), que está conectada para la impresión de una señal alterna con dos conexiones de cada condensador de bomba (CFC1, CFC2), y

caracterizado por al menos un amplificador de operación de baja tensión (112), que está conectado para la 20 generación de una porción de corrección de la señal alterna con la unidad de control.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2013/075498.

Solicitante: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg.

Inventor/es: MANOLI,YIANNOS, ROMBACH,STEFAN, MARX,MAXIMILIAN.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • G01C19/5726 SECCION G — FISICA.G01 METROLOGIA; ENSAYOS.G01C MEDIDA DE DISTANCIAS, NIVELES O RUMBOS; TOPOGRAFIA; NAVEGACION; INSTRUMENTOS GIROSCOPICOS; FOTOGRAMETRIA O VIDEOGRAMETRIA (medida del nivel de líquidos G01F;   radio navegación, determinación de la distancia o velocidad mediante la utilización de efectos de propagación, p. ej. efecto Doppler, tiempo de propagación, de ondas de radio, disposiciones análogas que utilicen otras ondas G01S). › G01C 19/00 Giróscopos; Dispositivos sensibles al giro con masas vibratorias; Dispositivos sensibles al giro sin masas móviles; Medida de velocidad angular usando efectos giroscópicos. › Procesado de señal.

PDF original: ES-2688827_T3.pdf

 

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