SISTEMA DE VACIO CONFIGURABLE.

Conjunto de mesa de vacío (732) para su utilización en una cámara de vacío para recubrir un sustrato,

comprendiendo el conjunto de mesa de vacío: un armazón de soporte (730) con una parte superior, una parte inferior y que puede funcionar para proporcionar soporte estructural al conjunto de mesa de vacío (732); una superficie aislada (800) con una parte superior, una parte inferior y dispuesta en la parte superior del armazón de soporte (730); un accionamiento mecánico (750) montado al armazón de soporte (730) y que puede funcionar para recibir energía mecánica externa en una primera ubicación a través de un conector del accionamiento mecánico (752) y para transferir la energía mecánica para su utilización en una segunda ubicación; un paso de alimentación eléctrica (760) montado al armazón de soporte (730) y que puede funcionar para recibir una señal eléctrica en una primera ubicación a través de un conector del paso de alimentación eléctrica y para comunicar la señal eléctrica auna segunda ubicación; un filamento (820) para recubrir el sustrato dispuesto por encima de la superficie aislada (800) entre un primer conductor de filamento (822) y un segundo conductor de filamento (824); un conector de potencia de filamento (740) acoplado eléctricamente al primer conductor de filamento a través de una primera almohadilla de contacto de potencia de filamento del conector de potencia de filamento y al segundo conductor de energía de filamento a través de una segunda almohadilla de contacto de potencia de filamento del conector de potencia de filamento; y una plataforma (830) que puede funcionar para soportar el sustrato, estando la plataforma dispuesta por encima de la parte superior de la superficie aislada.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BASIC RESOURCES, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 1601 BRYAN STREET,DALLAS, TX 75201-3402.

Inventor/es: KIDD,JERRY,D, HARRINGTON,CRAIG,D, HOPKINS,DANIEL,N.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 29 de Agosto de 2007.

Clasificación PCT:

  • C23C14/24 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Evaporación en vacío.
  • C23C14/26 C23C 14/00 […] › por calentamiento de la fuente por inducción o por resistencia.
  • C23C14/32 C23C 14/00 […] › por explosión; por evaporación seguida de una ionización de vapores (C23C 14/34 - C23C 14/48 tienen prioridad).
  • C23C14/34 C23C 14/00 […] › Pulverización catódica.
  • C23C14/50 C23C 14/00 […] › Portasustrato.
  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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SISTEMA DE VACIO CONFIGURABLE.

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