Diana de pulverización catódica basada en óxido de circonio.
Diana de pulverización catódica, que comprende un óxido de circonio como material de pulverización catódica,
en la que el óxido de circonio representa, como mínimo, el 75 % en peso del material de pulverización catódica, y el óxido de circonio
- tiene una deficiencia de oxígeno, en comparación con el contenido de oxígeno de su forma completamente oxidada, de, como mínimo, el 0,40 % en peso,
- tiene una cantidad total de elementos metálicos, diferentes del circonio, de menos del 3,0 % en peso, basada en las cantidades totales de elementos metálicos, incluido el circonio, y
- tiene un patrón de difracción de rayos X en polvo, medido con radiación Cu Kaa1, que tiene un pico P1 2-theta a 28,2° +/- 0,2°, un pico P2 2-theta a 31,4° +/- 0,2°, y un pico P3 a 2-theta 30,2° +/- 0,2°.
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E15202311.
Solicitante: Materion Advanced Materials Germany GmbH.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: Borsigstraße 10 63755 Alzenau ALEMANIA.
Inventor/es: SCHULTHEIS, MARKUS, SIMONS,CHRISTOPH, HERZOG,ANDREAS, SCHOTT,ANNA.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
PDF original: ES-2786348_T3.pdf
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