Máquina de implantación de iones en modo de inmersión en plasma para procedimiento de baja presión.

Máquina de implantación de iones que comprende:

- un dispositivo de bombeo (VAC),



- un recinto (ENV) el cual está empalmado con el dispositivo de bombeo (VAC),

- un portasustrato (PPS) dispuesto en dicho recinto

- una alimentación eléctrica de alta tensión (HT) configurada para polarizar negativamente el portasustrato (PPS),

- un dispositivo de alimentación de plasma (AP) que presenta la forma de un cuerpo de tipo cilíndrico que se extiende entre una sección inicial y una sección terminal, comprendiendo este dispositivo una cámara principal (PR, PR2) provista de una célula de ionización (BC1, ANT1), estando dicha cámara principal (PR, PR2) dotada de un orificio (ING, INL) de aprovisionamiento de gas, estando la sección final (CL) de dicha cámara principal provista de medios de debilitamiento configurados para crear una pérdida de carga con referencia a dicho cuerpo (AP), comprendiendo dicho dispositivo de alimentación de plasma (AP) igualmente una cámara auxiliar (AUX) dispuesta más allá de dicha sección final, desembocando esta cámara auxiliar en dicho recinto (ENV) al nivel de dicha sección terminal, caracterizada porque dicha cámara auxiliar (AUX) está provista de una segunda célula de ionización (BC2, ANT2).

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/FR2012/000227.

Solicitante: Ion Beam Services.

Nacionalidad solicitante: Francia.

Dirección: ZI Peynier-Rousset Rue Gaston Imbert prolongée 13790 Peynier FRANCIA.

Inventor/es: TORREGROSA,FRANK, ROUX,LAURENT.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/48 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Implantación de iones.
  • H01J37/32 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).

PDF original: ES-2752878_T3.pdf

 

Máquina de implantación de iones en modo de inmersión en plasma para procedimiento de baja presión.

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