CAMARA DE PROCESAMIENTO AL VACIO PARA SUSTRATOS DE AREA MUY GRANDE.
Un reactor de plasma para deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD) para el tratamiento de sustratos de gran tamaño,
que comprende una cámara de proceso de vacío (19) como cámara exterior y por lo menos un reactor interior con una alimentación de gas (22) del proceso, y una alimentación de RF (radiofrecuencia) (24) conectada eléctricamente a un cabezal electrodo (25) que actúa como antena de RF, comprendiendo también dicho reactor interior una parte inferior (6) del reactor y una parte superior (2) del reactor, estando conectado herméticamente por lo menos durante el tratamiento de los sustratos en el reactor de plasma y separado por lo menos durante la carga / descarga de los sustratos.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: OC OERLIKON BALZERS AG.
Nacionalidad solicitante: Liechtensein.
Dirección: OC OERLIKON BALZERS AG<IID>07465470<IRF>PR 0431.0PCT/EP<ADR>,9496 BALZERS.
Inventor/es: ELYAAKOUBI, MUSTAPHA, JOST, STEPHAN, AING,PHANNARA, DELAUNAY,LAURENT.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 2 de Abril de 2008.
Clasificación PCT:
- C23C16/458 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el método usado para sujetar los sustratos en la cámara de reacción.
- C23C16/509 C23C 16/00 […] › utilizando electrodos internos.
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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