PROCEDIMIENTO DE CIERRE ESTANCO DE UNA MICROCAVIDAD Y DE UN PAQUETE QUE COMPRENDE AL MENOS UNA MICROCAVIDAD.
(07/03/2011) Un procedimiento de cierre hermético de al menos una microcavidad entre una primera oblea y una segunda oblea , comprendiendo dicho procedimiento las etapas de proporcionar sobre al menos una de las primera y segunda obleas una configuración cerrada de un material de estanqueidad apropiado para constituir al menos una barrera de difusión y proporcionar un material de unión intermedio separado del material de estanqueidad sobre al menos una de las primera y segunda obleas , comprendiendo el material de unión intermedio un adhesivo, la alineación de dichas primera y segunda obleas y la aplicación de presión para constituir la al menos una barrera de difusión y para crear una conexión…