Aparato de pulverización que incluye un cátodo con objetivos rotatorios, y método relacionado.

Un aparato de pulverización catódica (50) para recubrir por pulverización catódica,

un artículo en un entorno reactivo, que comprende:

una cámara de vacío (16);

un cátodo (52) que tiene una porción de cuerpo hueca; y en donde el aparato de pulverización catódica comprende, además:

un yugo sustancialmente plano (54) provisto entre el cátodo (52) y la cámara (16), incluyendo el yugo (54) al menos la primera y la segunda ubicaciones objetivo (56a; 56b) provistas en una primera superficie principal del mismo, y al menos una tercera y una cuarta ubicaciones objetivo (56c; 56d) provistas en una segunda superficie principal del mismo, estando dispuestas la al menos primera y segunda ubicaciones objetivo (56a; 56b) de manera que al menos inicialmente se enfrenten a la cámara de vacío (16), estando las al menos tercera y cuarta ubicaciones objetivo (56c; 56d) dispuestas de tal manera que al menos inicialmente se enfrentan al cátodo (52), en donde el yugo (54) puede girar de manera tal que, al girar, las al menos tercera y cuarta ubicaciones objetivo (56c; 56d) enfrentadas a la cámara de vacío (16) y las al menos primera y segunda ubicaciones objetivo (56a; 56b) enfrentadas al cátodo (52) y, tras una nueva rotación, las al menos primera y segunda ubicaciones objetivo (56a; 56b) se enfrentan la cámara de vacío (16) y las al menos tercera y cuarta ubicaciones objetivo (56c; s6d) se enfrentan al cátodo (52);

una fuente de haz de iones, y

una pluralidad de objetivos de pulverización catódica (62a-d) que tienen material de pulverización catódica situado en los mismos,

en donde la fuente del haz de iones está dispuesta para ser situada en al menos una de dichas ubicaciones objetivo (56a-d), y en donde cada objetivo de pulverización catódica (62a-d) está dispuesto para ser situado en cualquier otra ubicación objetivo (56a-d).

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E10170789.

Solicitante: Guardian Europe S.à.r.l.

Nacionalidad solicitante: Luxemburgo.

Dirección: Atrium Business Park, Extimus Building, 19, rue du Puits Romain 8070 Bertrange LUXEMBURGO.

Inventor/es: SCHLOREMBERG,MARCEL, COMANS,GUY, USELDING,PHILIPPE.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C03C17/36 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C03 VIDRIO; LANA MINERAL O DE ESCORIA.C03C COMPOSICION QUIMICA DE LOS VIDRIOS, VIDRIADOS O ESMALTES VITREOS; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DEL VIDRIO; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DE FIBRAS O FILAMENTOS DE VIDRIO, SUSTANCIAS INORGANICAS O ESCORIAS; UNION DE VIDRIO A VIDRIO O A OTROS MATERIALES.C03C 17/00 Tratamiento de la superficie del vidrio, p. ej., de vidrio desvitrificado, que no sea en forma de fibras o filamentos, por recubrimiento. › siendo un revestimiento al menos un metal.
  • C03C23/00 C03C […] › Otros tratamientos de la superficie del vidrio que no sea en forma de fibras o de filamentos.
  • C23C14/34 C […] › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Pulverización catódica.
  • C23C14/35 C23C 14/00 […] › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • H01J37/34 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2707557_T3.pdf

 

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