Depósito en fase de vapor de recubrimiento por inmersión en un plasma de arco a baja presión y tratamiento iónico.

Un sistema de recubrimiento que comprende:

una cámara (12) de vacío;

y

un montaje de recubrimiento que incluye:

una fuente (16) de vapor que tiene una cara de objetivo con una dimensión larga de fuente de vapor y una dimensión corta de fuente de vapor;

un soporte (20) de sustrato para sostener sustratos (22) que van a revestirse de modo que los sustratos (22) estén posicionados en frente de la fuente (16) de vapor, y el soporte (20) de sustrato tiene una dimensión de soporte lineal; un ánodo (44) remoto eléctricamente acoplado al objetivo (28) catódico, y el ánodo (44) remoto tiene una dimensión de ánodo remoto lineal, y la fuente (16) de vapor tiene una dimensión de fuente de vapor lineal;

un montaje (18) de cámara catódica que incluye un objetivo (28) catódico, un ánodo (34) primario y un escudo (36) que aísla el objetivo (28) catódico de la cámara (12) de vacío, y el objetivo (28) catódico tiene una dimensión larga de objetivo catódico lineal y una dimensión corta de objetivo catódico lineal, y el escudo (36) define al menos una abertura (38) para transmitir una corriente (40) de emisión de electrones de una descarga de arco remoto desde el objetivo (28) catódico al ánodo (44) remoto que fluye a raudales a lo largo de la dimensión larga de cara objetivo;

un suministro (48) de energía primario conectado entre el objetivo (28) catódico y el ánodo (34) primario; y

un suministro (52) de energía secundario conectado entre el objetivo (28) catódico y el ánodo (44) remoto , en cuyo caso la dimensión de ánodo remoto lineal y la dimensión corta de fuente de vapor son paralelas a una dimensión en la cual se direcciona un punto de arco a lo largo del objetivo (28) catódico.

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E14160153.

Solicitante: VAPOR TECHNOLOGIES, INC.

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: 6400 DRY CREEK PARKWAY LONGMONT CO 80503 ESTADOS UNIDOS DE AMERICA.

Inventor/es: GOROKHOVSKY,VLADIMIR, GRANT,WILLIAM, TAYLOR,EDWARD.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.
  • C23C14/35 C23C 14/00 […] › por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón.
  • H01J37/32 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
  • H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2563862_T3.pdf

 

Depósito en fase de vapor de recubrimiento por inmersión en un plasma de arco a baja presión y tratamiento iónico.
Depósito en fase de vapor de recubrimiento por inmersión en un plasma de arco a baja presión y tratamiento iónico.

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