Procedimiento para recubrir sustratos y fuente de pulverización de alta potencia para el mismo.

Procedimiento para generar una descarga de plasma con una densidad de corriente de descarga que al menos en algunas zonas es localmente superior a 0,

2 A/cm2, con las etapas:

- proporcionar una unidad de suministro de potencia (3) con una potencia máxima predeterminada

- proporcionar al menos dos fuentes de pulverización catódica por magnetrón (q1-q6) con en cada caso pista predeterminada y límite superior térmico predeterminado, donde la pista se diseña tan pequeña que al actuar la potencia máxima de la unidad de suministro de potencia (3) sobre en cada caso una de las fuentes de bombardeo catiónico por magnetrón (q1-q6) la densidad de corriente de descarga es superior a 0,2 A/cm2;

- por medio de la unidad de suministro de potencia (3) alimentar una primera potencia en una primera de las al menos dos fuentes de bombardeo catiónico por magnetrón durante un primer intervalo de tiempo, seleccionándose la primera potencia suficientemente grande de modo que en la fuente de bombardeo catódico por magnetrón al menos en una zona localmente se genera una densidad de corriente de descarga superior a 0,2 A/cm2 y donde el primer intervalo de tiempo se selecciona suficientemente pequeño, de modo que no se supere el límite superior térmico predeterminado de la primera fuente de bombardeo catódico por magnetrón;

- por medio de la unidad de suministro de potencia (3) alimentar una segunda potencia en una segunda de las fuentes de bombardeo catiónico por magnetrón durante un segundo intervalo de tiempo, donde la segunda potencia se selecciona suficientemente grande de modo que en la segunda fuente de bombardeo catódico por magnetrón al menos en una zona localmente se genera una densidad de corriente de descarga superior a 0,2 A/cm2 y donde el segundo intervalo de tiempo se selecciona suficientemente pequeño, de modo que no se supera el límite superior térmico predeterminado de la segunda fuente de bombardeo catódico por magnetrón; donde los dos intervalos de tiempo no solapan por completo; caracterizado por que la unidad de suministro de potencia (3) comprende al menos dos generadores (g1-g6) que están conectados entre sí en configuración maestroesclavo.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2012/001414.

Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.

Inventor/es: KRASSNITZER,SIEGFRIED, RUHM,KURT.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/34 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Pulverización catódica.
  • H01J37/34 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2696599_T3.pdf

 

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