Fuente de plasma.
Dispositivo de generación de plasma, comprendiendo
una fuente de plasma con cuerpo hueco fuente de plasma (1) y una unidad de emisión de electrones (5) que hace posible emitir electrones libres en el cuerpo hueco fuente de plasma (1),
en donde el cuerpo hueco fuente de plasma (1) presenta una primera entrada de gas (7a) y una abertura de fuente de plasma (10) que forma una abertura que lleva a una cámara de vacío,
así como un ánodo con cuerpo hueco de ánodo (2), en donde el cuerpo hueco de ánodo (2) presenta una segunda entrada de gas (7b) y una abertura de ánodo (11),
y una fuente de tensión (8) cuyo polo negativo está unido con la unidad de emisión de electrones (5) y cuyo polo positivo está unido con el cuerpo hueco de ánodo (2), en donde el polo positivo de la fuente de tensión (8) esta unido eléctricamente adicionalmente con el cuerpo hueco fuente de plasma (1) a través de una primera resistencia en paralelo (6a); caracterizado por que la abertura de ánodo (11) forma una abertura que lleva a la cámara de vacío.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2013/003704.
Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.
Nacionalidad solicitante: Suiza.
Dirección: Churerstrasse 120 8808 Pfäffikon SUIZA.
Inventor/es: KRASSNITZER,SIEGFRIED, HAGMANN,JUERG.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
PDF original: ES-2625301_T3.pdf
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