Fuente de evaporación por arco voltaico al vacío, así como una cámara de evaporación por arco voltaico con una fuente de evaporación por arco voltaico al vacío.

Fuente de evaporación por arco voltaico al vacío que comprende una fuente de campo magnético con forma de anillo (2) y un cuerpo de cátodo (3) con un material de evaporación (31) como cátodo (32) para la generación de una descarga por arco voltaico sobre una superficie de evaporación (33) del cátodo (32),

en cuyo caso el cuerpo de cátodo (3) se limita en una primera dirección axial de una base de cátodo (34) y en una segunda dirección axial de la superficie de evaporación (33) en dirección axial, y la fuente de campo magnético con forma de anillo (2) se polariza en paralelo o antiparalelo hacia una normal superficial (300) de la superficie de evaporación (33) y se dispone de modo concéntrico hacia la normal superficial (300) de la superficie de evaporación (33), en cuyo caso se disponen un anillo de amplificación de campo magnético (4) en un lado que no se enfrenta a la superficie de evaporación (33) a una segunda distancia (A2) predeterminada ante la base del cátodo (34), y se dispone al menos un anillo de corrección magnética (5) sobre el lado que no se enfrenta a la superficie de evaporación (33) a una tercera distancia (A3) predeterminada ante la base del cátodo (34), caracterizada por que el anillo de amplificación de campo magnético (4) comprende una pluralidad de imanes permanentes (20, 40, 50) alineados esencialmente en paralelo a la normal superficial (300).

Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E14150384.

Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.

Nacionalidad solicitante: Suiza.

Dirección: Churerstrasse 120 8808 Pfäffikon SZ SUIZA.

Inventor/es: VETTER, JORG, DR..

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/305 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › para colar, fundir, evaporar o decapar.
  • H01J37/32 H01J 37/00 […] › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).

PDF original: ES-2648995_T3.pdf

 

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