Configuración magnética modificable para fuentes de evaporación por arco.
Fuente de evaporación por arco con una disposición de campo magnético prevista en un blanco (2) a partir de un material de revestimiento para la generación de campos magnéticos en y por encima de la superficie de blanco,
comprendiendo la disposición de campo magnético imanes permanentes centrales (5a), imanes permanentes marginales (5) y al menos una bobina anular (4) dispuesta detrás del blanco, cuyo diámetro interior limitado por los devanados es preferentemente menor o igual, en todo caso no considerablemente mayor que el diámetro del blanco, caracterizada por que los imanes permanentes marginales (5) y los imanes permanentes centrales (5a) pueden desplazarse esencialmente en perpendicular a la superficie del blanco (2) de manera que se alejan del blanco (2) y la proyección de los imanes permanentes marginales (5) hacia la superficie de blanco en comparación con la proyección de la bobina anular (4) hacia la superficie de blanco está alejada adicionalmente del centro de la superficie de blanco, pudiendo realizarse la capacidad de desplazamiento de los imanes permanentes marginales (5) y de los imanes permanentes centrales independientemente de la bobina anular (4), y estando configurada la disposición magnética de tal modo que en un primer ajuste de la disposición de campo magnético, los imanes permanentes centrales (5a) y los imanes permanentes marginales (5) pueden adoptar una primera posición en la que los polos de los imanes permanentes (5, 5a) están lo más próximos al material de revestimiento, y encontrándose los polos de los imanes permanentes (5, 5a) esencialmente en un plano en el que también se encuentra un extremo de la bobina anular (4), el cual está lo más próximo al material de revestimiento.
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2009/009319.
Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.
Nacionalidad solicitante: Suiza.
Dirección: Churerstrasse 120 8808 Pfäffikon SUIZA.
Inventor/es: KRASSNITZER,SIEGFRIED, GSTOEHL,OLIVER, HAGMANN,JUERG.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
- H01J37/34 H01J 37/00 […] › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
PDF original: ES-2652141_T3.pdf
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