Aparato generador de plasma y procedimiento de fabricación de dispositivos con patrones usando procesamiento de plasma resuelto espacialmente.
Aparato generador de plasma para fabricar dispositivos con patrones que comprende:
- una cámara de reactor de plasma;
- un conjunto de alimentación de gas para introducir un gas de entrada en la cámara del reactor de plasma a una presión elegida (P);
- un primer conjunto de electrodos (1) y un segundo conjunto de electrodos (2) colocados en la cámara de reactor de plasma, estando el primer conjunto de electrodos (1) dispuesto para separarse del segundo conjunto de electrodos (2) por un volumen entre electrodos, y
- una fuente de alimentación eléctrica (6) para generar una diferencia de tensión entre el primer conjunto de electrodos (1) y el segundo conjunto de electrodos (2);
en el que
- el primer conjunto de electrodos (1) comprende una pluralidad de protuberancias (11) y una pluralidad de rebajes (12, 13, 14, 15, 16, 17,18),
- el segundo conjunto de electrodos (2) está configurado para recibir un sustrato (5) que tiene una superficie (51) enfrentada a la pluralidad de protuberancias (11) y la pluralidad de rebajes (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18);
caracterizado por que:
- las protuberancias (11) y los rebajes (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) están dimensionados y dispuestos para establecerse a distancias respectivas (D1, D2) desde la superficie (51) del sustrato (5) a fin de generar una pluralidad de zonas de plasma aisladas espacialmente (21, 22) situadas selectivamente entre dicha superficie del sustrato (5) y dicha pluralidad de rebajes (12, 13, 14, 15, 16, 17, 18) o entre dicha superficie del sustrato (5) y dicha pluralidad de protuberancias (11) a la presión elegida (P) del gas de entrada.
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E15306338.
Solicitante: TOTAL S.A.
Nacionalidad solicitante: Francia.
Dirección: 2, Place Jean Millier, La Défense 6 92400 Courbevoie FRANCIA.
Inventor/es: JOHNSON,ERIK, BRUNEAU,BASTIEN, ROCA I CABARROCAS,PERE, BULKIN,PAVEL.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/04 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Revestimiento de partes determinadas de la superficie, p. ej. por medio de máscaras.
- C23C16/509 C23C […] › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › utilizando electrodos internos.
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
- H01L31/18 H01 […] › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 31/00 Dispositivos semiconductores sensibles a la radiación infrarroja, a la luz, a la radiación electromagnética de ondas más cortas, o a la radiación corpuscular, y adaptados bien para la conversión de la energía de tales radiaciones en energía eléctrica, o bien para el control de la energía eléctrica por dicha radiación; Procesos o aparatos especialmente adaptados a la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas; Sus detalles (H01L 51/42 tiene prioridad; dispositivos consistentes en una pluralidad de componentes de estado sólido formados en o sobre un sustrato común, diferentes a las combinaciones de componentes sensibles a la radiación con una o varias fuentes de luz eléctrica H01L 27/00). › Procesos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de estos dispositivos o de sus partes constitutivas.
PDF original: ES-2672245_T3.pdf
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