Fuente de evaporación en vacío de arco voltaico, así como una cámara de evaporación en vacío de arco voltaico con una fuente de evaporación en vacío de arco voltaico.

Fuente de evaporación en vacío de arco voltaico, que comprende una fuente de campo magnético (2) en forma de anillo y un cuerpo de cátodo (3) con un material de evaporación (31) como cátodo (32) para la generación de una descarga de arco voltaico sobre una superficie de evaporación (33) del cátodo (32),

en la que el cuerpo del cátodo (3) está limitado en una primera dirección axial por un fondo del cátodo (34) y en una segunda dirección axial por la superficie de evaporación (33) en dirección axial, y la fuente de campo magnético en forma de anillo (2) está polarizada paralela o antiparalela a una normal superficial (300) de la superficie de evaporación (33) y está dispuesta concéntricamente a la normal superficial (300) de la superficie de evaporación (33), en la que un anillo de amplificación del campo magnético (4) está dispuesto sobre un lado alejado de la superficie de evaporación a una segunda distancia predeterminada (A2) delante del fondo del cátodo (34), caracterizada porque un diámetro interior (DI) del anillo de amplificación del campo magnético (4) es aproximadamente 3 %, en particular hasta 10 %, con preferencia hasta 15 %, especialmente hasta 50 % de un diámetro del cátodo (32) y el anillo de amplificación del campo magnético comprende una pluralidad de imanes permanentes alineados esencialmente paralelos a la normal superficial.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2008/052844.

Solicitante: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon.

Nacionalidad solicitante: Suiza.

Dirección: Churerstrasse 120 8808 Pfäffikon SUIZA.

Inventor/es: VETTER, JORG, DR..

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/32 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).

PDF original: ES-2575119_T3.pdf

 

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