DISPOSICION PARA EL ACOPLAMIENTO DE ENERGIA DE MICROONDAS EN UNA CAMARA DE TRATAMIENTO.

Disposición para el acoplamiento de energía de microondas en una cámara de tratamiento (3) que se encuentra en un resonador de cavidad (1),

especialmente una cámara de recubrimiento CVD de plasma (3), con una alimentación de microondas (11) y con un conductor hueco de microondas (9, 1), caracterizada porque la disposición tiene una estructura esencialmente cilíndrica, de tal manera que en el extremo trasero está previsto un primer conductor hueco coaxial (en la zona a) con conductor interior configurado como antena (12), en el centro se conecta un conductor hueco aproximadamente cilíndrico (en la zona b) y en el extremo delantero (en la zona c) está previsto un segundo conductor hueco coaxial (1) con conductor interior (13), en la que en el segundo conductor hueco coaxial (en la zona c) se puede introducir un gas a través de un tubo de alimentación de gas (13), que se puede activar a través de la energía de microondas acoplada en el estado de plasma, y en la que a través de la antena (12) se genera un modo TM en la zona de plasma (1, c).

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE SA.

Nacionalidad solicitante: Suiza.

Dirección: AVENUE GENERAL-GUISAN 70, P.O. BOX 430,1009 PULLY.

Inventor/es: MOORE,RODNEY, ESSERS,WOLF.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 13 de Mayo de 2009.

Clasificación PCT:

  • H01J37/32 ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
DISPOSICION PARA EL ACOPLAMIENTO DE ENERGIA DE MICROONDAS EN UNA CAMARA DE TRATAMIENTO.

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