DISPOSICION DE CATODO EN UN DISPOSITIVO PARA PULVERIZACION DE UN OBJETIVO.
EN UNA DISPOSICION DE CATODO EN UN DISPOSITIVO PARA PULVERIZACION DE UN OBJETIVO (49 O 50) CON UN YUGO (22,
23) MAGNETICO Y CON HILERAS DE IMANES (33,34,53,54 O 35,36,55,56) PERMANENTES DISPUESTOS ENTRE EL OBJETIVO Y EL YUGO MAGNETICO ASI COMO CON UN SOPORTE (A O B) PARA SUJECION DEL YUGO (22 O 23) MAGNETICO EN UNA PARTE (5) DE PARED DE LA CAMARA (6) DE VACIO, EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO SOPORTADO DE FORMA FIJA SE APOYA SOBRE SU LADO CON RESPECTO AL OBJETIVO (49 O 50) EN UNA LEVA O UN PAR (43,44 O 43',44') DE LEVAS POR MOTIVOS DE SUJECION CONJUNTA DE LAS PARTES INDIVIDUALES DEL CATODO (3 O 4). LAS LEVAS O EL PAR DE LEVAS SE APOYAN POR SU LADO EN UNA PLACA (41 O 42) CABEZAL, QUE ESTA UNIDA CON UN JUEGO ADECUADO CON EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO A TRAVES DE UN TORNILLO O UN PERNO (67,67',...) ELASTICOS. EN AMBOS LADOS DEL YUGO (22 O 23) MAGNETICO SE HAN PREVISTO LISTONES (37,38 O 39,40) DE GARRA O DE GRAPA CONFIGURADOS EN FORMA DE U, EN LAS PARTES (59 HASTA 66) DE BORDE CON FORMA DE GARRA O DE PATILLA ESTAN DISTANCIADAS LATERALMENTE AGARRANDO POR UN LADO LA PLACA (41 O 42) CABEZAL Y POR OTRO LADO EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO Y/O LA PLACA (51 O 52) POSTERIOR DEL OBJETIVO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25,63450 HANAU.
Inventor/es: SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., MARQUARDT, DIETER.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 18 de Noviembre de 1998.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
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