PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA RECUBRIR UN SUBSTRATO, ESPECIALMENTE CON CAPAS NO CONDUCTORAS ELECTRICAS.
EN UN PROCEDIMIENTO Y EN UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIR UN SUBSTRATO (7) DE OBJETOS ELECTRICAMENTE CONDUCTORES (3,
4) EN ATMOSFERA REACTIVA, HAY PREVISTA UNA FUENTE DE CORRIENTE (12, 13, 14) QUE ESTA UNIDA CON UN CATODO (1, 2) DISPUESTO EN UNA CAMARA DE RECUBRIMIENTO (15) EVACUABLE, Y ACTUAN CONJUNTAMENTE DE FORMA ELECTRICA CON LOS OBJETOS (3, 4), EN DONDE HAY PREVISTOS DOS ANODOS (5, 6) SEPARADOS DE LA CAMARA (15) Y ELECTRICAMENTE ENTRE SI, QUE ESTAN EN UN PLANO ENTRE DOS CATODOS (1, 2) Y EL SUBSTRATO (7), EN DONDE LAS DOS SALIDAS (12A, 12B) DEL BOBINADO SECUNDARIO DE UN TRANSFORMADOR UNIDO, BAJO INTERCONEXION DE UNA BOBINA DE REACTANCIA (14), CON UN GENERADOR DE MEDIA FRECUENCIA (13) ESTAN CONECTADOS RESPECTIVAMENTE A UN CATODO (1 O 2) MEDIANTE DOS LINEAS DE ALIMENTACION (20, 21) Y LAS DOS LINEAS DE ALIMENTACION (20, 21) ESTAN UNIDAS ENTRE SI A TRAVES DE UNA LINEA DE DERIVACION (22), EN LA QUE ESTA CONECTADO UN CIRCUITO OSCILANTE (18, 19), EN DONDE CADA UNA DE LAS LINEAS DE ALIMENTACION (20, 21) ESTA UNIDA TANTO A TRAVES DE UNA PRIMERA RED (16 O 17) CON LA CAMARA DE RECUBRIMIENTO (15), COMO TAMBIEN A TRAVES DE UNA CORRESPONDIENTE RED SECUNDARIA (8 O 9) CON EL ANODO RESPECTIVO (5 O 6).
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25, 63450 HANAU.
Inventor/es: SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., BRAUER, GUNTER, DR., TESCHNER, GOTZ, DIPL.-ING.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 29 de Noviembre de 1995.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
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