CATODO PARA PROCESO DE REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO.
EN UN CATODO PARA REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO (46), QUE SE ENCUENTRA CONEXIONADO CON UNA FUENTE (FUENTE DE ALTA FRECUENCIA),
DE CORRIENTE ALTERNA O DE CORRIENTE CONTINUA Y DISPUESTA EN UNA CAMARA (2) DE RECUBRIMIENTO EVACUABLE Y ENCONTRANDOSE EN UNION ELECTRICA CON UN OBJETIVO (29) QUE ES PULVERIZADO Y CON ELLO LAS PARTICULAR DE PULVERIZACION SE DEPOSITAN SOBRE EL SUBSTRATO (46), DONDE ES POSIBLE LA INTRODUCCION DE UN GAS DE PROCESO EN LA CAMARA (2) DE RECUBRIMIENTO Y EL CATODO ESTA CONFORMADO CON UNA CARCASA (3) EN FORMA ESENCIALMENTE DE OLLA, CUYA PARTE (39) DE FONDO SE ENCUENTRA CERRADA CON EL OBJETIVO (49) Y UNIDA DE FORMA FIJA Y DIRIGIDA HACIA EL OBJETIVO (29), DONDE EL EXTREMO ABIERTO SE ENCUENTRA SUJETO EN UNA ABERTURA (49) EN LA PARED (30) EXTERIOR DE LA CAMARA DE RECUBRIMIENTO, DE FORMA QUE EL ESPACIO (49) INTERIOR DE LA CARCASA (3) ESTA EXPUESTA A LA PRESION ATMOSFERICA, MIENTRAS QUE EL OBJETIVO (39) Y LA SUPERFICIE EXTERIOR DE LA PIEZA EN FORMA DE CASQUILLO UNIDA CON ELLA DE LA CARCASA (3) ESTAN IMPULSADAS CON LA PRESION REINANTE EN LA CAMARA (2) DE RECUBRIMIENTO.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25,63450 HANAU.
Inventor/es: MULLER, JURGEN, WOLF, BERND, NEUDERT, HANS.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 23 de Diciembre de 1998.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
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