CATODO PARA EL REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO.

EN UN CATODO PARA EL REVESTIMIENTO DE UN SUBSTRATO (46), EL CUAL ESTA CONECTADO A UNA FUENTE DE CORRIENTE CONTINUA Y/O CORRIENTE ALTERNA (ALTA FRECUENCIA),

Y ESTA DISPUESTO EN UNA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2) EVACUABLE, Y EN CONTACTO ELECTRICO CON UN TARGET (29), Y QUE EL CATODO ESTA FORMADO ESENCIALMENTE DE UNA CARCASA (3) EN FORMA DE OLLA, CUYO FONDO CERRADO (58) CON SU SUPERFICIE EXTERIOR ESTA UNIDA RIGIDAMENTE CON EL TARGET (29), Y EL EXTREMO ABIERTO ORIENTADO HACIA EL TARGET (29), ESTA FIJADO DE FORMA HERMETICA EN UNA ABERTURA (48) EN LA PARED EXTERIOR (30) DE LA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2) DE TAL MODO QUE, EL RECINTO INTERIOR (49) DE LA CARCASA (3) ESTA SIEMPRE SOMETIDO A LA PRESION ATMOSFERICA, MIENTRAS QUE EL TARGET (29) Y LA SUPERFICIE EXTERIOR (62), UNIDA CON LA PARTE DE LA CARCASA (3) EN FORMA DE CASQUILLO, INTRODUCIDA EN LA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2), ESTAN SOMETIDOS POR LA RESPECTIVA PRESION EJERCIDA EN LA CAMARA DE REVESTIMIENTO (2), EN EL QUE EN EL RECINTO INTERIOR (49) DE LA CARCASA (3), SE HA PREVISTO AL MENOS PARCIALMENTE LA INCORPORACION DE UN SUPLEMENTO (8), EL CUAL FORMA CON EL FONDO (58) UN ESPACIO CASI CILINDRICO CIRCULAR, EN EL CUAL PUEDE SER EMPLAZADO UN JUEGO DE IMANES (5, 4, 61) CON YUGO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25, 63450 HANAU.

Inventor/es: MULLER, JURGEN, WOLF, BERND, NEUDERT, HANS.

Fecha de Publicación: 16 de Mayo de 1996.

Fecha Concesión Europea: 20 de Marzo de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.
H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

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