INSTALACION DE RECUBRIMIENTO DE VACIO.

EN UNA INSTALACION DE RECUBRIMIENTO DE VACIO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS SOBRE SUBSTRATO (3,

3',...), CON UNA CAMARA (4) DE ENTRADA, AL MENOS UNA OTRA CAMARA (5) PARA EL TRATAMIENTO DEL SUBSTRATO (3,3',...) Y CON UNA CAMARA (4) DE SALIDA ASI COMO CON UN EQUIPO (7) DE TRANSPORTE DISPUESTO EN UNA CAMARA (6) DE TRANSPORTE EVACUABLE PARA EL TRANSPORTE DEL SUBSTRATO (3,3',...) A TRAVES DE LAS CAMARAS (4,5,6), SE HA PREVISTO UN EQUIPO (7) DE TRANSPORTE, QUE ESTA DISPUESTO ALREDEDOR DE UN EJE (8) CONJUNTO, Y MUESTRA SOPORTES (9,10) OSCILABLES ALREDEDOR DE ESTE EJE. EN AL MENOS DOS POSICIONES, ES DECIR EN UNA POSICION DE ENTRADA Y SALIDA Y EN UNA POSICION DE TRATAMIENTO SE DISPONE DE SOPORTES (9,10) RESPECTIVAMENTE CON UN MOVIMIENTO DE DESPLAZAMIENTO QUE SE EJECUTA CONTRA LA PARED (11) DE LA CAMARA (6) DE TRANSPORTE. ESTE MOVIMIENTO DE DESPLAZAMIENTO SE DIMENSIONA EN LA PRIMERA POSICION, DE FORMA QUE EL SOPORTE (10) EN LA POSICION ELEVADA CIERRA LA ABERTURA (17) DE LA CAMARA (4) DE ENTRADA Y SALIDA EN LA PARED (11) DE LA CAMARA (3) DE TRANSPORTE. SOBRE CADA SOPORTE (9,10) ES ASENTABLE RESPECTIVAMENTE UN RECIPIENTE (12,13) EN FORMA DE COPA PARA LA RECEPCION SE UN SUBSTRATO (3,3',...) Y EL SOPORTE (9) SE ELEVA EN LA ZONA DE LA POSICION (5) DE TRATAMIENTO DEL RECIPIENTE (12) DE MODO TAN AMPLIO, QUE EL BORDE (16) SUPERIOR DEL RECIPIENTE (12) SE COLOCA DE FORMA ESTANCA EN EL BORDE (14) DE LA ABERTURA PARA LA CAMARA (5) DE TRATAMIENTO.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: WILHELM-ROHN-STRASSE 25,63450 HANAU.

Inventor/es: HENRICH, JURGEN, ZEJDA, JAROSLAV.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 19 de Agosto de 1998.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/34 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Pulverización catódica.
  • C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.

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