PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO DE REVESTIMIENTO POR PVD.

La invención se refiere a un procedimiento para revestir PVD y a un dispositivo con una cámara

(1) para revestir PVD, en el cual están dispuestos al menos un cátodo blanco (3), al menos un ánodo (2) y al menos un soporte de sustrato (9) que se destina para soportar al menos un sustrato (10), y con un dispositivo de control (4, 6, 7) que entrega una primera tensión con el fin de suministrar al cátodo blanco (3) un potencial eléctrico negativo con relación al ánodo (2) con el fin de formar un plasma (P) en el cual está dispuesto el sustrato (10) y el cual entrega una segunda tensión con el fin de suministrar al ánodo (2) un potencial eléctrico positivo con relación a la pared de la cámara (8). En este dispositivo de revestimiento por pulverización iónica, la fracción iónica del material blanco que puede conseguirse es demasiado baja para satisfacer cualitativamente las propiedades de revestimiento. Se aumenta, según la invención, porque el dispositivo de control (4, 6, 7) entrega una tercera tensión que suministra al sustrato (10) una tensión eléctrica que es más negativa que la tensión del ánodo (2).

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: CEMECON-CERAMIC METAL COATINGS-DR.-ING. ANTONIUS LEYENDECKER GMBH.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: ADENAUERSTRASSE 20B1,52146 WURSELEN.

Inventor/es: LEYENDECKER, ANTONIUS, FUSS, HANS-GERD, WENKE, RAINER, ERKENS, GEORG, ESSER, STEFAN, HERMELER, BERND.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 9 de Abril de 1998.

Fecha Concesión Europea: 25 de Septiembre de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA... > Tubos de descarga provistos de medios o de un material... > H01J37/32 (Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B))
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/42 (Pulverización por medio de triodo (C23C 14/35 tiene prioridad))

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Portugal, Irlanda, Finlandia, Oficina Europea de Patentes.

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