METODO Y APARATO PARA LA GENERACION DE UNA DESCARGA EN LOS VAPORES PROPIOS DE UN ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO PARA UNA SUBLIMACION METALICA Y EVAPORACION SOSTENIDA DEL ELECTRODO.

SE PRESENTA UN METODO Y UN APARATO PARA GENERAR UNA DESCARGA EN VAPORES PROPIOS DE UN ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO PARA UNA SUBLIMACION METALICA Y UNA EVAPORACION SOSTENIDA QUE COMPRENDE LOS PASOS DE: A) LA GENERACION DE UNA DESCARGA DE FRECUENCIA DE RADIO MEDIANTE UN ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO DE UNA GEOMETRIA HUECA EN UN GAS AUXILIAR INTRODUCIDO EN EL INTERIOR DEL AREA DE DESCARGA A UNA PRESION NECESARIA A UNA PRESION NECESARIA PARA LA INICIACION DE LA DESCARGA DE UN CATODO HUECO DENTRO DEL ELECTRODO HUECO PROVOCANDO LA SUBLIMACION METALICA Y/O LA EVAPORACION DE LA SUPERFICIE DEL ELECTRODO; B) INCREMENTAR LA POTENCIA DE LA FRECUENCIA DE RADIO PARA EL ELECTRODO HUECO PARA MEJORAR LA DENSIDAD DE LOS VAPORES QUE CONTIENEN LAS PARTICULAS LIBERADAS DEL ELECTRODO MEDIANTE SUBLIMACION METALICA Y/O EVAPORACION EN LA DESCARGA DEL CATODO HUECO

, GENERADA POR RADIOFRECUENCIA HASTA UNA DENSIDAD A LA CUAL PERMANEZCA LA DESCARGA DE FORMA AUTOSOSTENIDA DESPUES DE QUE LA ENTRADA DEL GAS AUXILIAR SE CIERRE Y EL BOMBEADO DEL GAS SE AJUSTE HASTA UN VALOR NECESARIO PARA EL MANTENIMIENTO DE LA DESCARGA. EL ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO, HUECO PUEDE SERVIR COMO ENTRADA AL GAS AUXILIAR.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BARDOS, LADISLAV
BARANKOVA, HANA
BERG, SOREN.

Nacionalidad solicitante: Suecia.

Dirección: ULLERAKERSVAGEN 64,S-756 43 UPPSALA.

Inventor/es: BARDOS, LADISLAV, BARANKOVA, HANA, BERG, SOREN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Solicitud PCT: 12 de Octubre de 1994.

Fecha Concesión Europea: 18 de Septiembre de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • SECCION H — ELECTRICIDAD > ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS > TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA... > Tubos de descarga provistos de medios o de un material... > H01J37/34 (que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad))
  • SECCION C — QUIMICA; METALURGIA > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO... > Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización... > C23C14/40 (por descarga en corriente alterna, p. ej. por descarga en alta frecuencia)

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Finlandia, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Armenia, Australia, Barbados, Bulgaria, Brasil, Bielorusia, Canadá, China, República Checa, Estonia, Georgia, Hungría, Japón, Kenya, Kirguistán, República de Corea, Kazajstán, Sri Lanka, Liberia, Malawi, Sudán, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, República Popular Democrática de Corea, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia.

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