Método para producir recubrimientos de DFV.

Método para depositar un recubrimiento de óxido, nitruro o carburo metálico cristalino o mezclas de los mismos,

caracterizado porque se acciona una descarga de pulverización magnetrónica con impulsos de alta potencia, HIPIMS, sobre una o más dianas mantenidas en estado metálico, en una mezcla de argón y un gas reactivo, a una potencia de pulso de pico de al menos 320 Wcm-2, una longitud de pulso de hasta 100 μs y una frecuencia de repetición de 100 Hz,

en el que

- la una o más dianas de la misma composición metálica son de Al, con lo que el recubrimiento depositado comprende una fase cristalina de alúmina, más específicamente gamma- o alfa-alúmina, depositada a un grosor de preferiblemente 0,1-30 μm,

o,

- la una o más dianas son de la misma composición metálica que es una aleación de AlMe, donde Me es uno o más de los metales del grupo de Mg, Zn, Mn, Fe, Co, Ni, Zr, Cd, Cu, Cr y Sn y la mezcla gaseosa en la cámara de vacío es una mezcla de Ar y gas oxígeno (O2), con lo que el recubrimiento depositado comprende un óxido bifásico o un óxido mixto de tipo (Al1-xMex)2O3 o espinela (Me)xAl2O3+x (0

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/EP2008/056528.

Solicitante: SANDVIK INTELLECTUAL PROPERTY AB.

Nacionalidad solicitante: Suecia.

Dirección: 811 81 SANDVIKEN SUECIA.

Inventor/es: WALLIN,ERIK, HELMERSSON,ULF.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C23C14/08 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
  • H01J37/34 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

PDF original: ES-2705198_T3.pdf

 

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