Método de deposición en fase de vapor para la fabricación de estructuras en capas de película delgada que contienen litio.

Un método de deposición en fase de vapor para preparar una estructura de película delgada multicapa,

comprendiendo el método:

proporcionar una fuente de vapor de cada elemento componente de un compuesto destinado a una primera capa y un compuesto destinado a una segunda capa, en el que las fuentes de vapor comprenden al menos una fuente de litio, una fuente de oxígeno, una fuente o fuentes de uno o más elementos formadores de vidrio y una fuente o fuentes de uno o más metales de transición;

calentar un sustrato a una primera temperatura;

co-depositar elementos componentes de al menos las fuentes de vapor de litio, oxígeno y el uno o más metales de transición sobre el sustrato calentado, en el que los elementos componentes reaccionan sobre el sustrato para formar una capa de un compuesto de óxido de metal de transición que contiene litio cristalino;

calentar el sustrato a una segunda temperatura; y

co-depositar elementos componentes de al menos las fuentes de vapor de litio, oxígeno y el uno o más elementos formadores de vidrio sobre el sustrato calentado en el que los elementos componentes reaccionan sobre el sustrato para formar una capa de un compuesto de óxido u oxinitruro que contiene litio amorfo; donde un compuesto de óxido que contiene litio es un compuesto que contiene litio, oxígeno y uno o más elementos y un compuesto de oxinitruro que contiene litio es un compuesto que contiene litio, oxígeno, nitrógeno y uno o más de otros elementos:

en el que la primera temperatura y la segunda temperatura están dentro de un intervalo de temperatura de sustancialmente 170 °C o menos.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/GB2015/050013.

Solicitante: Ilika Technologies Limited.

Nacionalidad solicitante: Reino Unido.

Dirección: Kenneth Dibben House Enterprise Road University of Southampton Science Park Chilworth Southampton, Hampshire SO16 7NS REINO UNIDO.

Inventor/es: HAYDEN,BRIAN ELLIOTT, SMITH,DUNCAN CLIFFORD ALAN, LEE,CHRISTOPHER EDWARD, ANASTASOPOULOS,ALEXANDROS, PERKINS,LAURA MARY, HUTCHINGS,KYLE JAMES.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • C03C3/089 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C03 VIDRIO; LANA MINERAL O DE ESCORIA.C03C COMPOSICION QUIMICA DE LOS VIDRIOS, VIDRIADOS O ESMALTES VITREOS; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DEL VIDRIO; TRATAMIENTO DE LA SUPERFICIE DE FIBRAS O FILAMENTOS DE VIDRIO, SUSTANCIAS INORGANICAS O ESCORIAS; UNION DE VIDRIO A VIDRIO O A OTROS MATERIALES.C03C 3/00 Composiciones para la fabricación del vidrio (cargas de mezclas vitrificables C03C 6/00). › que contienen boro.
  • C03C4/18 C03C […] › C03C 4/00 Composiciones para vidrio con propiedades particulares. › para vidrio sensible a los iones.
  • C23C14/00 C […] › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00).
  • C23C14/06 C23C […] › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › caracterizado por el material de revestimiento (C23C 14/04 tiene prioridad).
  • C23C14/08 C23C 14/00 […] › Oxidos (C23C 14/10 tiene prioridad).
  • H01M10/0562 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01M PROCEDIMIENTOS O MEDIOS, p. ej., BATERIAS, PARA LA CONVERSION DIRECTA DE LA ENERGIA QUIMICA EN ENERGIA ELECTRICA. › H01M 10/00 Celdas secundarias; Su fabricación. › Materiales sólidos.
  • H01M4/04 H01M […] › H01M 4/00 Electrodos. › Procesos de fabricación en general.

PDF original: ES-2654390_T3.pdf

 

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