DISPOSITIVO MULTIPLICADOR DE ELECTRONES MICROMECANIZADO PARA DETECCIÓN DE PARTÍCULAS IONIZANTES, SISTEMA DE DETECCIÓN DE PARTÍCULAS IONIZANTES Y MÉTODO DE FABRICACIÓN DEL DISPOSITIVO.
Dispositivo multiplicador (1) de electrones micromecanizado y apilable para la detección de partículas ionizantes que comprende un sustrato sólido con una cavidad central micromecanizada (14) en el centro de la cara inferior del sustrato definiendo un contorno perimétrico de soporte del sustrato(12) alrededor de la cavidad y una pluralidad de orificios pasantes micromecanizados (13) situados en correspondencia con la cavidad (14);
una primera capa dieléctrica aislante (17) depositada sobre todas las superficies del sustrato solido; un primer electrodo metálico de polarización (15) situado sobre la cara superior de la primera capa eléctrica aislante (17); y un segundo electrodo metálico de polarización (16) situado sobre la cara inferior de la primera capa eléctrica aislante (17).
Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/ES2015/070082.
Solicitante: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC).
Nacionalidad solicitante: España.
Inventor/es: LOZANO FANTOBA,MANUEL, ESTEVE TINTO,JAUME, CABRUJA CASAS, ENRIC, CAMPANELLA PINEDA,Humberto, BRANT DE CAMPOS,Jose, CERQUEIRA GOMES,Gabriela, PESSOA LIMA JUNIOR,Herman.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- B81B1/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS. › B81B DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA, p. ej. DISPOSITIVOS MICROMECANICOS (elementos piezoeléctricos, electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/00). › Dispositivos sin elementos móviles o flexibles, p.ej. dispositivos capilares microscópicos.
- B81C1/00 B81 […] › B81C PROCEDIMIENTOS O APARATOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA LA FABRICACION O EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA (fabricación de microcápsulas o de microbolas B01J 13/02; procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de elementos piezoeléctricos o electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/22). › Fabricación o tratamiento de dispositivos o de sistemas en o sobre un substrato (B81C 3/00 tiene prioridad).
- G01T1/16 FISICA. › G01 METROLOGIA; ENSAYOS. › G01T MEDIDA DE RADIACIONES NUCLEARES O DE RAYOS X (análisis de materiales por radiaciones, espectrometría de masas G01N 23/00; tubos para determinar la presencia, intensidad, densidad o energía de una radiación o de partículas H01J 47/00). › G01T 1/00 Medida de los rayos X, rayos gamma, radiaciones corpusculares o de las radiaciones cósmicas (G01T 3/00, G01T 5/00 tienen prioridad). › Medida de la intensidad de radiación (G01T 1/29 tiene prioridad).
- H01J47/02 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 47/00 Tubos para determinar la presencia, intensidad, densidad o energía de una radiación o de partículas (tubos de descarga fotoeléctrica que no implican la ionización de un gas H01J 40/00). › Cámaras de ionización.
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