DISPOSITIVO CATODICO PARA LA PULVERIZACION DE UN TUBO DE OBJETIVO TUBULAR GIRATORIO.
Dispositivo de cátodo para la pulverización de un objetivo tubular (12) con un sistema magnético no giratorio (23) con el objeto de crear un campo magnético para la inclusión de un plasma,
para lo cual objetivo tubular (12) es giratorio dentro de una cámara de vacío a través del campo magnético, en dónde se ha dispuesto como mínimo una construcción portante (1), un eje portante accionable (6) para el objetivo tubular (12), para lo cual además dentro del objetivo tubular (12) se ha dispuesto un sistema de soporte para el sistema magnético (23) y en dónde entre el eje portante (6) y el tubo objetivo (12) se ha montado como mínimo un dispositivo de embrague móvil para la sustitución del objetivo tubular (12) caracterizado en que, como mínimo entre el eje portante accionable (6) y el objetivo tubular (12) se han dispuesto las piezas separadoras coaxiales (15, 67) y dos posiciones de separación móviles (32/53) o bien (60/61), y que mediante las posiciones de separación (32/53) respectivamente (60/61) las uniones rígidas en cuanto a su forma y no giratorias entre el eje portante (6) y las piezas separadoras (15, 67) por un lado y las piezas separadoras ( 15, 67) junto con el objetivo tubular (12) por otro lado son separables pero de nuevo pueden volverse a montar.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG
APPLIED MATERIALS, INC.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: SIEMENSSTRASSE 100,63755 ALZENAU.
Inventor/es: SAUER, ANDREAS, NEWCOMB, RICHARD, KAWAKAMI,KEN, TRUBE,SCOTT, RISO,TOM, MARQUARDT,DIETMAR.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 31 de Marzo de 2005.
Fecha Concesión Europea: 26 de Septiembre de 2007.
Clasificación PCT:
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.
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