PROCEDIMIENTO Y APARATO PARA TRATAR UN SUSTRATO.
Un procedimiento para tratar una superficie de al menos un substrato,
en el que el al menos un substrato se coloca en una cámara de proceso, en el que un plasma es generado por al menos una fuente de plasma, siendo la al menos una fuente de plasma una fuente (3) en cascada, en el que al menos un cátodo (4) de la fuente (3) en cascada se encuentra presente en una precámara (6) en la cual, durante el uso, prevalece una presión (P2) relativamente alta en comparación con una presión (P1) relativamente baja prevalente en la cámara (1) de proceso, en el que, a través de un canal (7) relativamente estrecho limitado por placas (8) en cascada aisladas eléctricamente entre sí, la precámara (6) desemboca al interior de la cámara (1) de proceso, de manera que, durante el uso, el plasma se expande a través del canal (7) relativamente estrecho al interior de la cámara (1) de proceso, que se caracteriza porque durante el tratamiento, la al menos una fuente (3) de plasma y/o al menos una fuente de suministro de fluido de tratamiento provisto opcionalmente se mueven en relación con la superficie del substrato.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: OTB GROUP B.V.
Nacionalidad solicitante: Países Bajos.
Dirección: LUCHTHAVENWEG 10,5657 EB EINDHOVEN.
Inventor/es: DINGS,FRANCISCUS,CORNELIUS, EVERS,MARINUS,FRANCISCUS,JOHANUS, HOMPUS,MICHAEL,ADRIANUS,THEODORUS, BIJKER,MARTIN,DINANT.
Fecha de Publicación: .
Fecha Concesión Europea: 28 de Marzo de 2007.
Clasificación PCT:
- C23C16/04 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › Revestimiento de partes determinadas de la superficie, p. ej. por medio de máscaras.
- C23C16/50 C23C 16/00 […] › por medio de descargas eléctricas.
- C23C16/513 C23C 16/00 […] › utilizando chorros de plasma.
- H01J37/32 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Tubos de descarga en atmósfera gaseosa (calefacción por descarga H05B).
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