DISPOSITIVO DE PULVERIZACION CATODICA CON MAGNETRON, CATODO CILINDRICO Y PROCEDIMIENTO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS DE MULTIPLES COMPONENTES EN UN SUSTRATO.
Dispositivo de pulverización catódica con magnetrón, en especial,
con al menos una cámara de vacío, para la aplicación de delgadas capas de múltiples componentes en un sustrato, y que está dotado de un cátodo (1, 1'') cilíndrico colocado de forma giratoria alrededor del eje longitudinal axial y un sistema magnético dispuesto en el interior del cátodo (1, 1'') cilíndrico, comprendiendo el cátodo (1, 1'') cilíndrico al menos dos segmentos (2, 2'', 3, 3'', 4, 4'', 5, 5'') con diferentes materiales de blanco, y presentando el dispositivo de pulverización catódica con magnetrón medios para girar el cátodo (1, 1'') cilíndrico y medios para desplazar el sustrato relativamente respecto al cátodo cilíndrico, caracterizado porque los medios para girar del cátodo (1, 1'') cilíndrico están adaptados para girar el cátodo (1, 1'') cilíndrico de forma fundamentalmente continua con una velocidad en función de la velocidad del sustrato, de manera que los materiales del blanco se mezclan en el sustrato y así, medianteco-sputtering con magnetrón, se deposita sobre el sustrato una capa de múltiples componentes.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: APPLIED FILMS GMBH & CO. KG.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: SIEMENSSTRASSE 100,63755 ALZENAU.
Inventor/es: LIEHR,MICHAEL,DR.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 10 de Agosto de 2004.
Fecha Concesión Europea: 21 de Febrero de 2007.
Clasificación PCT:
- H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Eslovenia, Finlandia, Rumania, Chipre, Lituania, Letonia, Ex República Yugoslava de Macedonia, Albania.
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