METODO Y APARATO PARA LA GENERACION DE UNA DESCARGA EN LOS VAPORES PROPIOS DE UN ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO PARA UNA SUBLIMACION METALICA Y EVAPORACION SOSTENIDA DEL ELECTRODO.

SE PRESENTA UN METODO Y UN APARATO PARA GENERAR UNA DESCARGA EN VAPORES PROPIOS DE UN ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO PARA UNA SUBLIMACION METALICA Y UNA EVAPORACION SOSTENIDA QUE COMPRENDE LOS PASOS DE:

A) LA GENERACION DE UNA DESCARGA DE FRECUENCIA DE RADIO MEDIANTE UN ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO DE UNA GEOMETRIA HUECA EN UN GAS AUXILIAR INTRODUCIDO EN EL INTERIOR DEL AREA DE DESCARGA A UNA PRESION NECESARIA A UNA PRESION NECESARIA PARA LA INICIACION DE LA DESCARGA DE UN CATODO HUECO DENTRO DEL ELECTRODO HUECO PROVOCANDO LA SUBLIMACION METALICA Y/O LA EVAPORACION DE LA SUPERFICIE DEL ELECTRODO; B) INCREMENTAR LA POTENCIA DE LA FRECUENCIA DE RADIO PARA EL ELECTRODO HUECO PARA MEJORAR LA DENSIDAD DE LOS VAPORES QUE CONTIENEN LAS PARTICULAS LIBERADAS DEL ELECTRODO MEDIANTE SUBLIMACION METALICA Y/O EVAPORACION EN LA DESCARGA DEL CATODO HUECO, GENERADA POR RADIOFRECUENCIA HASTA UNA DENSIDAD A LA CUAL PERMANEZCA LA DESCARGA DE FORMA AUTOSOSTENIDA DESPUES DE QUE LA ENTRADA DEL GAS AUXILIAR SE CIERRE Y EL BOMBEADO DEL GAS SE AJUSTE HASTA UN VALOR NECESARIO PARA EL MANTENIMIENTO DE LA DESCARGA. EL ELECTRODO DE FRECUENCIA DE RADIO, HUECO PUEDE SERVIR COMO ENTRADA AL GAS AUXILIAR.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: BARDOS, LADISLAV
BARANKOVA, HANA
BERG, SOREN.

Nacionalidad solicitante: Suecia.

Dirección: ULLERAKERSVAGEN 64,S-756 43 UPPSALA.

Inventor/es: BARDOS, LADISLAV, BARANKOVA, HANA, BERG, SOREN.

Fecha de Publicación: 1 de Mayo de 2003.

Fecha Solicitud PCT: 12 de Octubre de 1994.

Fecha Concesión Europea: 18 de Septiembre de 2002.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C14/40 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › por descarga en corriente alterna, p. ej. por descarga en alta frecuencia.
H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Finlandia, Oficina Europea de Patentes, Lituania, Letonia, Armenia, Australia, Barbados, Bulgaria, Brasil, Bielorusia, Canadá, China, República Checa, Estonia, Georgia, Hungría, Japón, Kenya, Kirguistán, República de Corea, Kazajstán, Sri Lanka, Liberia, Malawi, Sudán, Burkina Faso, Benin, República Centroafricana, Congo, Costa de Marfil, Camerún, Gabón, Guinea, Malí, Mauritania, Niger, Senegal, Chad, Togo, Organización Africana de la Propiedad Intelectual, República Popular Democrática de Corea, Organización Regional Africana de la Propiedad Industrial, Swazilandia.

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