REACTOR CVD Y USO DEL MISMO.
La invención se refiere a un reactor CVD que comprende lo siguiente:
un alojamiento de reactor con una tapa; un suscepctor calentado (soporte de disco) que se encuentra en el alojamiento del reactor y sobre el cual puede situarse al menos un disco; una entrada central de fluido a través de la cual medio CVD especialmente templado, etc. se introduce en el reactor; y una descarga de fluido situada en la periferia del alojamiento del reactor y a través de la cual sale el medio admitido. La invención se caracteriza porque la descarga de fluido tiene aproximadamente forma de disco con un cierto número de aberturas de salida para el medio CVD, etc. y está dispuesta entre el susceptor (soporte de disco) y la tapa del reactor de tal modo que se calienta por radiación desde el mencionado susceptor (soporte de disco) y está por ello configurada a una temperatura entre la temperatura del susceptor (soporte de disco) y la temperatura de la tapa del reactor. Esto asegura que el medio CVD está endurecida por laminación en frío cuando es introducido.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: AIXTRON AKTIENGESELLSCHAFT.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: KACKERTSTRASSE 15-17,52072 AACHEN.
Inventor/es: SCHUMACHER, MARKUS, KIPPELER, JOHANNES, JIRGENSEN, HOLGER, DESCHLER, MARC, STRAUCH, GERD.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 18 de Febrero de 1999.
Fecha Concesión Europea: 17 de Octubre de 2001.
Clasificación Internacional de Patentes:
- C23C16/44 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad).
Países PCT: Austria, Bélgica, Suiza, Alemania, Dinamarca, España, Francia, Reino Unido, Grecia, Italia, Liechtensein, Luxemburgo, Países Bajos, Suecia, Mónaco, Portugal, Irlanda, Finlandia, Chipre, Oficina Europea de Patentes.
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