INTERRUPTOR DE CIRCUITO DE FIBRAS OPTICAS Y PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DEL MISMO.
LA INVENCION SE REFIERE A UN PROCESO PARA PRODUCIR UN PROCESO DE FIBRA OPTICA CON AL MENOS DOS GUIAS DE LUZ EN UN PLANO Y UN ELEMENTO DE CONMUTACION OPTICA MOVIL (7) FORMADO POR UN DISCO CHIP EN EMPAREDADO (39).
EN UNA PRIMERA OPERACION, LA CAPA DE RECUBRIMIENTO (43) SE ENMASCARA DE MANERA QUE, DESPUES DE ESTA CAPA, PREFERENTEMENTE LAS ZONAS PARCIALMENTE MOVILES (45), EXPUESTAS TRANSVERSALMENTE, SOBRE TODO DEL ELEMENTO DE CONMUTACION (7), TENGAN UNA ANCHURA ESTRECHA, Y QUE UNAS AREAS PARCIALES DE CONMUTACION (47) FIJADAS AL SUBSTRATO BASE (25) TENGAN UNA SEGUNDA ANCHURA MAYOR QUE LA PRIMERA. EN UNA SEGUNDA OPERACION, LAS AREAS ABIERTAS DE LA CAPA DE RECUBRIMIENTO ENMASCARADA (43) SE ATACAN EN UN PROCESO DE MORDENTADO EN SECO CON UN ATAQUE POR MEDIO DE IONES REACTIVOS ANISOTROPICOS PROFUNDOS, FORMANDO UNAS PAREDES MORDENTADAS PRACTICAMENTE VERTICALES HASTA UNA CAPA INTERMEDIA AMORFA (41). EN UNA TERCERA OPERACION, SE USA UN AGENTE DE MORDENTADO QUE SOLO ATACA LA CAPA INTERMEDIA (41), Y EL TIEMPO DE MORDENTADO SE SELECCIONA DE MANERA QUE LA CAPA INTERMEDIA (41) SE ATAQUE UNICAMENTE DEJANDOLA LIBRE DEBAJO DE LAS AREAS PARCIALES (45) DE LA PRIMERA ANCHURA, PERO NO DEBAJO DE LAS AREAS PARCIALES (47) QUE TIENEN LA SEGUNDA ANCHURA. LOS EXTREMOS DE LA FIBRA OPTICA ESTAN DISPUESTOS TAN CERCANOS ENTRE SI QUE EL ELEMENTO DE CONMUTACION (7) PUEDE TODAVIA INSERTARSE JUSTAMENTE ENTRE ELLOS, Y SIN EMBARGO, AL RETIRARSE EL ELEMENTO DE CONMUTACION (7), TIENE LUGAR EL ACOPLAMIENTO DE LA RADIACION DESDE UN PUNTO CONDUCTOR OPTICO HASTA OTRO SITUADO EN POSICION OPUESTA, SIN NINGUNA AYUDA DE ELEMENTOS ADICIONALES PARA OBTENCION DE IMAGENES OPTICAS.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: ASCOM AG.
Nacionalidad solicitante: Suiza.
Dirección: BELPSTRASSE 37, POSTFACH,3000 BERN 14.
Inventor/es: ANTHAMATTEN, OLIVIER, MARXER, CORNEL.
Fecha de Publicación: .
Fecha Solicitud PCT: 19 de Septiembre de 1997.
Fecha Concesión Europea: 10 de Abril de 2002.
Clasificación Internacional de Patentes:
- G02B26/02 FISICA. › G02 OPTICA. › G02B ELEMENTOS, SISTEMAS O APARATOS OPTICOS (G02F tiene prioridad; elementos ópticos especialmente adaptados para ser utilizados en los dispositivos o sistemas de iluminación F21V 1/00 - F21V 13/00; instrumentos de medida, ver la subclase correspondiente de G01, p. ej. telémetros ópticos G01C; ensayos de los elementos, sistemas o aparatos ópticos G01M 11/00; gafas G02C; aparatos o disposiciones para tomar fotografías, para proyectarlas o para verlas G03B; lentes acústicas G10K 11/30; "óptica" electrónica e iónica H01J; "óptica" de rayos X H01J, H05G 1/00; elementos ópticos combinados estructuralmente con tubos de descarga eléctrica H01J 5/16, H01J 29/89, H01J 37/22; "óptica" de microondas H01Q; combinación de elementos ópticos con receptores de televisión H04N 5/72; sistemas o disposiciones ópticas en los sistemas de televisión en colores H04N 9/00; disposiciones para la calefacción especialmente adaptadas a superficies transparentes o reflectoras H05B 3/84). › G02B 26/00 Dispositivos o sistemas ópticos que utilizan elementos ópticos móviles o deformables para controlar la intensidad, el color, la fase, la polarización o la dirección de la luz, p. ej. conmutación, apertura de puerta o modulación (elementos móviles de dispositivos de iluminación para el control de la luz F21V; dispositivos o sistemas especialmente adaptados para medir las características de la luz G01J; dispositivos o sistemas cuyo funcionamiento óptico se modifica por el cambio de las propiedades ópticas del medio que constituyen estos dispositivos o sistemas G02F 1/00; control de la luz en general G05D 25/00; control de las fuentes de luz H01S 3/10, H05B 39/00 - H05B 47/00). › para controlar la intensidad de la luz.
- G02B6/42 G02B […] › G02B 6/00 Guías de luz; Detalles de estructura de las disposiciones que comprenden guías de luz y otros elementos ópticos, p. ej. medios de acoplamiento. › Acoplamiento de guías de luz con elementos opto-electrónicos.
- H01L21/3065 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01L DISPOSITIVOS SEMICONDUCTORES; DISPOSITIVOS ELECTRICOS DE ESTADO SOLIDO NO PREVISTOS EN OTRO LUGAR (utilización de dispositivos semiconductores para medida G01; resistencias en general H01C; imanes, inductancias, transformadores H01F; condensadores en general H01G; dispositivos electrolíticos H01G 9/00; pilas, acumuladores H01M; guías de ondas, resonadores o líneas del tipo guía de ondas H01P; conectadores de líneas, colectores de corriente H01R; dispositivos de emisión estimulada H01S; resonadores electromecánicos H03H; altavoces, micrófonos, cabezas de lectura para gramófonos o transductores acústicos electromecánicos análogos H04R; fuentes de luz eléctricas en general H05B; circuitos impresos, circuitos híbridos, envolturas o detalles de construcción de aparatos eléctricos, fabricación de conjuntos de componentes eléctricos H05K; empleo de dispositivos semiconductores en circuitos que tienen una aplicación particular, ver la subclase relativa a la aplicación). › H01L 21/00 Procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de dispositivos semiconductores o de dispositivos de estado sólido, o bien de sus partes constitutivas. › Grabado por plasma; Grabado mediante iones reactivos.
Países PCT: Suiza, Alemania, España, Francia, Reino Unido, Italia, Liechtensein, Oficina Europea de Patentes.
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