APARATO PARA LA DEPOSICION POR VAPOR DE PLASMA REACTIVO POR CC DE UN MATERIAL ELECTRICAMENTE AISLANTE UTILIZANDO UN ANODO SECUNDARIO BLINDADO.

EN UN REACTOR DE DEPOSICION DE VAPOR DE PLASMA PARA DEPOSITAR UN MATERIAL ELECTRICAMENTE AISLANTE SEGUN UN PROCESO DE PULVERIZACION DE CC EL PLASMA SE ESTABILIZA,

MANTENIENDO SU EFICIENCIA DE PULVERIZACION GRACIAS A LA PRESENCIA DE UN ANODO SECUNDARIO (22), PREFERENTEMENTE MANTENIDO A UNA POLARIZACION POSITIVA RESPECTO AL ANODO PRIMARIO (15). EL ANODO SECUNDARIO (22) SE BLINDA DE LA EXPOSICION AL CHORRO DE MATERIAL PULVERIZADO SI BIEN QUEDA SITUADO LO SUFICIENTEMENTE CERCA DE LA DESCARGA DE PLASMA PARA ATRAER A LOS ELECTRONES DEL PLASMA Y MANTENER ASI SU EQUILIBRIO DE CARGA. EN UNA PULVERIZACION REACTIVA, LA CAMARA DE PULVERIZACION (10) CONTIENE TANTO UN GAS DE PULVERIZACION, POR EJEMPLO ARGON, Y UN GAS REACTIVO, POR EJEMPLO OXIGENO. LOS IONES POSITIVOS DEL GAS DE PULVERIZACION BOMBARDEAN UN BLANCO (17) DEL MATERIAL A PULVERIZAR. LOS ATOMOS DEL MATERIAL OBJETIVO, LOS ATOMOS PULVERIZADOS, SON EMITIDOS DESDE EL BLANCO (17) EN TODAS LAS DIRECCIONES HASTA ENTRAR EN LA CAMARA, ALGUNOS DE LOS CUALES CAEN SOBRE LA SUPERFICIE DEL SUSTRATO A REVESTIR POR PULVERIZACION. EN LA SUPERFICIE O EN LA CAMARA (10) SE COMBINAN QUIMICAMENTE CON EL GAS REACTIVO. EN EL CASO QUE SE PRESENTA EN ESTA INVENCION, LA COMBINACION QUIMICA FORMA UN REVESTIMIENTO ELECTRICAMENTE AISLANTE SOBRE EL SUSTRATO (19). EL MISMO MATERIAL ELECTRICAMENTE AISLANTE REVISTE EL RESTO DE LAS SUPERFICIES EXPUESTAS AL FLUJO DE ATOMOS PULVERIZADOS. EN UN ASPECTO DE LA INVENCION, EL ANODO SECUNDARIO POSITIVAMENTE POLARIZADO BLINDADO DE LOS ATOMOS PULVERIZADOS NO SE REVISTE CON EL MATERIAL ELECTRICAMENTE AISLANTE, CON LO CUAL MANTIENE SU CAPACIDAD DE SACAR LOS ELECTRONES DEL PLASMA.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: P.O. BOX 58039, M/S 0934, 3050 BOWERS AVENUE,SANTA CLARA, CALIFORNIA 95052-.

Inventor/es: TALIEH, HOMOYOUN.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 4 de Junio de 1997.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • H01J37/34 SECCION H — ELECTRICIDAD.H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS.H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

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