METODO PARA PREPARAR UNA PANTALLA PARA REDUCIR PARTICULAS EN UNA CAMARA DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO.

EN UN METODO PARA PREPARA UNA PANTALLA (17) Y/O ANILLO DE APRIETE (16) PREVIO AL USO EN UN PROCESO DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO,

LA PANTALLA (17) Y/O ANILLO DE APRIETE (16) SE INYECTA PRIMERO EN ESCORIA UTILIZANDO UN POLVO ABRASIVO, A CONTINUACION SE TRATA EN UNA CAMARA DE LIMPIEZA ULTRASONICA PARA ELIMINAR PARTICULAS SUELTAS Y DESPUES UN CHISPORROTEADO CON ACIDO O TRATATO CON UN PLASMA. EL CHISPORROTEO O EL TRATAMIENTO DE PLASMA SIRVE A SOLTAR CONTAMINACION QUE PUEDE FORMAR UNA BARRERA DE DIFUSION Y PREVENIR LOS DEPOSITOS A PARTIR DE EL ENLACE DE LA PANTALLA (17) Y TAMBIEN SIRVE PARA HACER ASPERA LA SUPERFICIE DE LA PANTALLA (17) Y/O EL ANILLO DE APRIETE (16), PARA REDUCIR LOS VACIOS DE INTERFASE Y MEJORAR LA ADHESION DE MATERIA CHISPORROTEADO SOBRE LA PANTALLA (17) Y/O ANILLO DE APRIETE (16). LOS PROCESOS DE LA INVENCION DA COMO RESULTADO UNA LIMPIEZA MEJORADA DE LA PANTALLA (17) Y/O EL ANILLO DE APRIETE (16) Y UNA ADHESION MEJORADA MATERIAL CHISPORROTEADO SOBRE ESTOS, CON LO QUE SE INCREMENTA EL TIEMPO ANTES DE QUE LA PANTALLA/ANILLO DE APRIETE DEBEN SER LIMPIADO Y SE REDUCE EL TIEMPO DE LA CAMARA DE DEPOSICION DE VAPOR FISICO (14).

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: APPLIED MATERIALS, INC..

Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.

Dirección: P.O. BOX 58039 3050 BOWERS AVENUE,SANTA CLARA CALIFORNIA 95052-8.

Inventor/es: MINTZ, DONALD M.

Fecha de Publicación: .

Fecha Concesión Europea: 9 de Octubre de 1996.

Clasificación Internacional de Patentes:

  • B08B7/04 SECCION B — TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B08 LIMPIEZA.B08B LIMPIEZA EN GENERAL; PREVENCION DE LA SUCIEDAD EN GENERAL (cepillos A46; dispositivos para limpieza del hogar o análogos A47L; separación de partículas sólidas de líquidos o gases B01D; separación de sólidos B03, B07; pulverización o aplicación de líquidos u otros materiales fluidos sobre superficies en general B05; dispositivos de limpieza para transportadores B65G 45/10; operaciones combinadas de lavado, llenado y cierre de botellas B67C 7/00; inhibición de la corrosión o de la incrustación en general C23; limpieza de calles, de vías férreas, de playas o de terrenos E01H; partes constitutivas, detalles o accesorios de piscinas para nadar o para chapotear especialmente adaptados a la limpieza E04H 4/16; protección contra las cargas electrostáticas o supresión de estas cargas H05F). › B08B 7/00 Limpieza por métodos no previstos en una sola subclase o en un solo grupo de la presente subclase. › por una combinación de operaciones.
  • C23C14/00 SECCION C — QUIMICA; METALURGIA.C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL.C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (aplicación de líquidos o de otros materiales fluidos sobre las superficies, en general B05; fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; mecanizado del metal por acción de una fuerte concentración de corriente eléctrica sobre un objeto por medio de un electrodo B23H; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; pinturas, barnices, lacas C09D; esmaltado o vidriado de metales C23D; medios para impedir la corrosión de materiales metálicos, las incrustaciones, en general C23F; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D, C25F; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04; detalles de aparatos de sonda de barrido, en general G01Q; fabricación de dispositivos semiconductores H01L; fabricación de circuitos impresos H05K). › Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00).
  • C23C14/02 C23C […] › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento (tubos de descarga provistos de medios que permiten la introducción de objetos o de un material para ser expuestos a la descarga H01J 37/00). › Pretratamiento del material a revestir (C23C 14/04 tiene prioridad).
  • C23C14/56 C23C 14/00 […] › Aparatos especialmente adaptados al revestimiento en continuo; Dispositivos para mantener el vacío, p. ej. cierre estanco.
  • C23C16/44 C23C […] › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad).
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