PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE UN TARGET PARA PULVERIZACION DE CATODOS.

EL INVENTO TRATA DE UN PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE UN TARGET METALICO PARA LA PULVERIZACION DE CATODOS.

LA NECESIDADES DE TARGETS SIEMPRE COMPLEJOS SE AUMENTA CON LA AMPLIACION DE ESTA TECNICA SOBRE CAMPOS DE APLICACION SIEMPRE NUEVOS. LA FABRICACION DE TARGETS CON LAS CARACTERISTICAS DE CARACTER METALICOS, DE FORMA COMPLEJA, EXENCION DE POROS Y GARANTIA PUEDE LLEVARSE A CABO, O SOLO INSUFICIENTEMENTE SEGUN LOS PROCEDIMIENTOS CONOCIDOS PARA UNA CANTIDAD REQUERIDA ACTUALMENTE DE COMPOSICIONES DE MATERIALES DE TARGET. EL INVENTO DESCRIBE UN PROCEDIMIENTO DE FABRICACION PARA TARGETS DE VARIOS COMPONENTES, NO PRESENTES COMO ALEACION UNIFORME, DE LOS QUE AL MENOS UN COMPONENTE PRINCIPAL ES DUCTIL EN FRIO Y QUE REGULARMENTE AL MENOS MUESTRA UN COMPONENTE QUEBRADIZO. LOS COMPONENTES NO ALEADOS SE MEZCLAN EN UNA CANTIDAD DE POLVO PARA PRESIONARSE EN UNA FORMA Y FINALMENTE MEDIANTE VARIAS CONVERSACIONES, ESPECIALMENTE EN PRENSA MEZCLADORA, A TEMPERATURAS POR DEBAJO DEL PUNTO DE FUSION SE CONDENSAN LOS COMPONENTES FUNDIBLES MAS BAJOS FLUIDO. SEGUIDAMENTE EL GRANULADO DE POLVO, SE LLEVA A SOLDADURA EN FRIO SIN ENTRAR EN UNA VERDADERA ALEACION. DE ESTA MANERA EL TARGET COMPRENDE UN 96 A 100% DE LA CONDENSACION TEORETICA Y CARACTER METALICOS.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: METALLWERK PLANSEE GESELLSCHAFT M.B.H.

Nacionalidad solicitante: Austria.

Dirección: , A-6600 REUTTE, TIROL.

Inventor/es: KORB, GEORG, DR. DIPL.-ING.

Fecha de Publicación: 16 de Marzo de 1991.

Fecha Concesión Europea: 3 de Octubre de 1990.

Clasificación Internacional de Patentes:

B22F1/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES. › B22 FUNDICION; METALURGIA DE POLVOS METALICOS. › B22F TRABAJO DE POLVOS METALICOS; FABRICACION DE OBJETOS A PARTIR DE POLVOS METALICOS; FABRICACION DE POLVOS METALICOS (fabricación de aleaciones mediante metalurgia de polvos C22C ); APARATOS O DISPOSITIVOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA POLVOS METALICOS. › Tratamiento especial de polvos metálicos, p. ej. para facilitar su trabajo, para mejorar sus propiedades; Polvos metálicos en sí , p. ej. mezclas de partículas de composiciones diferentes.
B22F3/16 B22F […] › B22F 3/00 Fabricación de piezas a partir de polvos metálicos, caracterizada por el modo de compactado o sinterizado; Aparatos especialmente concebidos para esta fabricación. › por medio de operaciones sucesivas o repetidas.
C23C14/34 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 14/00 Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento. › Pulverización catódica.
H01J37/34 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › que funcionan por pulverización catódica (H01J 37/36 tiene prioridad).

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