Procedimiento para la precipitación de silicio policristalino.
Procedimiento para la precipitación de silicio policristalino,
que comprende introducción de un gas de reacción que contiene un componente que contiene silicio e hidrógeno en un reactor, mediante lo cual se generan varas de silicio policristalinas, caracterizado por que, una vez concluida la precipitación se conduce al reactor un gas que ataca silicio o compuestos que contienen silicio de la fórmula general SixClyHz, que recorre las varas de silicio policristalinas y una pared interna del reactor para disolver partículas que contienen silicio formadas en la precipitación, adheridas a la pared interna del reactor o a las varas de silicio policristalinas, antes de extraer las varas de silicio policristalinas del reactor, empleándose como gas que ataca silicio o compuestos que contienen silicio de la fórmula general SixClyHz una mezcla de H2 y triclorosilano o una mezcla de H2 y triclorosilano y diclorosilano, componiéndose la mezcla de un 90-99 % en moles de H2, un 1-10 % en moles de TCS y un 0-2 % en moles de DCS, ascendiendo el flujo parcial de clorosilanos en suma a 0,005-0,2 kmol/h por 1 m2 de una superficie de las varas de silicio policristalinas y la temperatura de las varas de silicio policristalinas a 1100-1400ºC.
Tipo: Patente Europea. Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: E13187018.
Solicitante: WACKER CHEMIE AG.
Nacionalidad solicitante: Alemania.
Dirección: HANNS-SEIDEL-PLATZ 4 81737 MÜNCHEN ALEMANIA.
Inventor/es: SOFIN,DR. MIKHAIL.
Fecha de Publicación: .
Clasificación Internacional de Patentes:
- C01B33/035 QUIMICA; METALURGIA. › C01 QUIMICA INORGANICA. › C01B ELEMENTOS NO METALICOS; SUS COMPUESTOS (procesos de fermentación o procesos que utilizan enzimas para la preparación de elementos o de compuestos inorgánicos excepto anhídrido carbónico C12P 3/00; producción de elementos no metálicos o de compuestos inorgánicos por electrólisis o electroforesis C25B). › C01B 33/00 Silicio; Sus compuestos (C01B 21/00, C01B 23/00 tienen prioridad; persilicatos C01B 15/14; carburos C01B 32/956). › por descomposición o reducción de compuestos de silicio gaseosos o vaporizados en presencia de filamentos calientes de silicio, de carbono o de un metal refractario, p. ej. tántalo o tungsteno, o en presencia de varillas de silicio calientes sobre las cuales el silicio formado se deposita con obtención de una varilla de silicio, p. ej. proceso Siemens.
PDF original: ES-2577408_T3.pdf
Patentes similares o relacionadas:
Procedimiento para la producción de silicio policristalino, del 11 de Septiembre de 2018, de WACKER CHEMIE AG: Procedimiento para la producción de silicio policristalino, en el que se precipita silicio policristalino sobre cuerpos soporte calentados mediante […]
Procedimiento para la producción de silicio policristalino, del 30 de Mayo de 2018, de WACKER CHEMIE AG: Procedimiento para la producción de silicio policristalino, que comprende precipitación de silicio policristalino en cuerpos soporte que se encuentran en al menos […]
Puntos de conexión de mandril y puente para filamentos de tubo en un reactor de deposición química de vapor, del 10 de Mayo de 2017, de GTAT Corporation: Un sistema de reactor de deposición química de vapor, que comprende: al menos un primer filamento de tubo que tiene extremos primero […]
Vara de silicio policristalina y procedimiento para su producción, del 12 de Abril de 2017, de WACKER CHEMIE AG: Vara de silicio policristalina con un diámetro total de al menos 150 mm, que contiene un núcleo (A) con una porosidad de 0 a menos de 0,01 alradedor de una vara delgada y al […]
Procedimiento para la producción de silicio policristalino, del 30 de Noviembre de 2016, de WACKER CHEMIE AG: Procedimiento para la producción de silicio policristalino, que comprende a) precipitación de silicio policristalino por medio de CVD sobre al menos un cuerpo soporte […]
Procedimiento para evitar la formación de deposiciones sobre una mirilla en la producción de silicio policristalino, del 8 de Junio de 2016, de WACKER CHEMIE AG: Un procedimiento para la producción de silicio policristalino, que comprende introducir un gas de reacción que contiene un componente con un contenido de silicio […]
Procedimiento para la producción de una barra de silicio policristalino aleado con germanio, del 8 de Junio de 2016, de WACKER CHEMIE AG: Un procedimiento para producción de una barra con una longitud de 0,5 m a 4 m y con un diámetro de 25 mm a 220 mm, que comprende una barra delgada […]
Procedimiento para el suministro de corriente a un reactor, del 11 de Mayo de 2016, de WACKER CHEMIE AG: Procedimiento para el suministro de corriente a un reactor en el que uno o varios electrodos conducidos a través de una pared del reactor […]