MÉTODO Y SISTEMA DE CARACTERIZACIÓN DE ESTRUCTURAS NANO Y MICRO MECÁNICAS.

Método y sistema de microscopia óptica basada en la deflexión de estructuras micro y nano mecánicas al incidir un haz láser en ellas que provee simultáneamente y de manera automáticade un mapa espacial de la deflexión estática y de la forma de diversos modos de vibración con resolución vertical en el rango de subangstrom.

Comprendiendo al menos una estructura mecánica, un haz láser incidente que barre la superficie de la estructura, un detector optométrico para la captura del haz láser y unos medios de excitación en frecuencia que generan al menos dos señales sinusoidales a diferentes frecuencias en la estructura mecánica.

Tipo: Patente Internacional (Tratado de Cooperación de Patentes). Resumen de patente/invención. Número de Solicitud: PCT/ES2013/070331.

Solicitante: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS (CSIC).

Nacionalidad solicitante: España.

Inventor/es: TAMAYO DE MIGUEL,FRANCISCO JAVIER, CALLEJA GÓMEZ,MONTSERRAT, MONTEIRO KOSAKA,PRISCILA, PINI,Valerio, GONZÁLEZ CASTILLA,Sheila.

Fecha de Publicación: .

Clasificación Internacional de Patentes:

  • B81C99/00 TECNICAS INDUSTRIALES DIVERSAS; TRANSPORTES.B81 TECNOLOGIA DE LAS MICROESTRUCTURAS.B81C PROCEDIMIENTOS O APARATOS ESPECIALMENTE ADAPTADOS PARA LA FABRICACION O EL TRATAMIENTO DE DISPOSITIVOS O SISTEMAS DE MICROESTRUCTURA (fabricación de microcápsulas o de microbolas B01J 13/02; procedimientos o aparatos especialmente adaptados para la fabricación o el tratamiento de elementos piezoeléctricos o electroestrictivos o magnetoestrictivos en sí H01L 41/22). › Materia no prevista en otros grupos de esta subclase.
  • B82Y35/00 B […] › B82 NANOTECNOLOGIA.B82Y USOS O APLICACIONES ESPECIFICOS DE NANOESTRUCTURAS; MEDIDA O ANALISIS DE NANOESTRUCTURAS; FABRICACION O TRATAMIENTO DE NANOESTRUCTURAS.Métodos o aparatos para medida o análisis de nanoestructuras.
MÉTODO Y SISTEMA DE CARACTERIZACIÓN DE ESTRUCTURAS NANO Y MICRO MECÁNICAS.

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