PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PCVD DE RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS CURVADOS.

SE DESCRIBE UN PROCEDIMIENTO DE PCVD PARA LA OBTENCION DE RECUBRIMIENTOS DE GROSOR UNIFORME SOBRE SUSTRATOS ABOMBADOS,

POR EL CUAL LA SUPERFICIE DEL SUSTRATO QUE SE VA A RECUBRIR SE COLOCA EN COMUNICACION CON LA SUPERFICIE DE PASO DE UN GAS DE UNA DUCHA DE GAS. PARA DETERMINAR LOS PARAMETROS APROPIADOS DEL PROCESO, EN UNA PRIMERA SERIE DE ENSAYOS PARA UN TIPO DE SUSTRATO A RECUBRIR, SE MANTIENE CONSTANTE EL TAMAÑO DE LAS SUPERFICIES DE PASO DE GAS Y LA MASA DE GAS PASA A TRAVES DE ESTAS SUPERFICIES, MIENTRAS QUE SE MODIFICAN GRADUALMENTE LOS INTERVALOS ENTRE CADA IMPULSO, EMPEZANDO POR UN VALOR INICIAL T{SUB,A} HASTA ALCANZAR UN VALOR OPTIMO T{SUB,EFF} Y HASTA QUE LA UNIFORMIDAD DEL GROSOR DE LAS CAPAS FORMADAS SOBRE EL SUSTRATO NO AUMENTE. OPCIONALMENTE, DURANTE UNA SEGUNDA SERIE DE ENSAYOS, EL VALOR T{SUB,EFF} PUEDE MANTENERSE CONSTANTE MIENTRAS QUE EL GROSOR DE LAS CAPAS SE MODIFICA POR OPTIMIZACION DE LOS PARAMETROS LOCALES Y/O LA MASA DE GAS FLUYE HASTA QUE SU UNIFORMIDAD NO SE PUEDA AUMENTAR MAS. LA INSTALACION TIENEN UNA DUCHA DE GAS (10), SUS PASOS DE GAS (11) ESTAN COLOCADOS ENFRENTE DEL SUSTRATO (1) QUE SE VA A RECUBRIR. LAS ZONAS (13, 14 Y 15) ESTAN UNIDAS POR CONDUCTOS (21, 21A Y 22) A UNA FUENTE DE GAS QUE NO FORMA RECUBRIMIENTOS (27) Y A UNA FUENTE DE GAS (28) QUE ABASTECE DE GAS RECIENTE.

Tipo: Resumen de patente/invención.

Solicitante: SCHOTT GLAS
CARL ZEISS STIFTUNG TRADING AS SCHOTT GLASWERKE.

Nacionalidad solicitante: Alemania.

Dirección: HATTENBERGSTRASSE 10,55122 MAINZ.

Inventor/es: OTTO, JURGEN, WALTHER, MARTEN, DR., HEMING, MARTIN, DR., SEGNER, JOHANNES, DR., LANGE, ULRICH, LANGFELD, ROLAND, MOHL, WOLFGANG, PAQUET, VOLKER.

Fecha de Publicación: 1 de Noviembre de 1999.

Fecha Solicitud PCT: 29 de Marzo de 1995.

Fecha Concesión Europea: 7 de Julio de 1999.

Clasificación Internacional de Patentes:

C23C16/44 QUIMICA; METALURGIA. › C23 REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO QUIMICO DE LA SUPERFICIE; TRATAMIENTO DE DIFUSION DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL; MEDIOS PARA IMPEDIR LA CORROSION DE MATERIALES METALICOS, LAS INCRUSTACIONES, EN GENERAL. › C23C REVESTIMIENTO DE MATERIALES METALICOS; REVESTIMIENTO DE MATERIALES CON MATERIALES METALICOS; TRATAMIENTO DE MATERIALES METALICOS POR DIFUSION EN LA SUPERFICIE, POR CONVERSION QUIMICA O SUSTITUCION; REVESTIMIENTO POR EVAPORACION EN VACIO, POR PULVERIZACION CATODICA, POR IMPLANTACION DE IONES O POR DEPOSICION QUIMICA EN FASE VAPOR, EN GENERAL (fabricación de productos revestidos de metal por extrusión B21C 23/22; revestimiento metálico por unión de objetos con capas preexistentes, ver las clases apropiadas, p. ej. B21D 39/00, B23K; metalización del vidrio C03C; metalización de piedras artificiales, cerámicas o piedras naturales C04B 41/00; esmaltado o vidriado de metales C23D; tratamiento de superficies metálicas o revestimiento de metales mediante electrolisis o electroforesis C25D; crecimiento de monocristales C30B; mediante metalización de textiles D06M 11/83; decoración de textiles por metalización localizada D06Q 1/04). › C23C 16/00 Revestimiento químico por descomposición de compuestos gaseosos, no quedando productos de reacción del material de la superficie en el revestimiento, es decir, procesos de deposición química en fase vapor (pulverización catódica reactiva o evaporación reactiva en vacío C23C 14/00). › caracterizado por el proceso de revestimiento (C23C 16/04 tiene prioridad).
C23C16/50 C23C 16/00 […] › por medio de descargas eléctricas.
C23C16/52 C23C 16/00 […] › Control o regulación de los procesos de revestimiento.

Países PCT: Austria, Suiza, Alemania, España, Reino Unido, Liechtensein, Suecia, Oficina Europea de Patentes.

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