MICROSCOPIO TUNEL PARA OPERACION EN ULTRA ALTO VACIO CON MOVIMIENTO DE LA MUESTRA MEDIANTE INCHWORM SEPARABLE Y POSICIONAMIENTO DEL PORTAMUESTRAS MEDIANTE PIEZAS V.
MICROSCOPIO (STM) COMPATIBLE CON ULTRA ALTO VACIO (UHV). EL MECANISMO DE APROXIMACION DE LA MUESTRA A LA PUNTA ES MEDIANTE INCHWORM (QUE POSEE UN SALTO DE LNM).
EL CONTACTO DEL INCHWORM CON EL PORTAMUESTRAS ES ELIMINADO CUANDO MUESTRA Y PUNTA ALCANZAN LA POSICION TUNEL. EL PORTAMUESTRAS SE MUEVE Y SE POSICIONA EN LAS DIRECCIONES X, Y, Z, POR UN SISTEMA DE PIEZAS V. ELLO PERMITE UN MOVIMIENTO ESTABLE, PRECISO Y REPETITITVO DE LA MUESTRA, LO QUE HACE MAS FIABLE EL FUNCIONAMIENTO DEL MICROSCOPIO. TODOS LOS ELEMENTOS SON COMPATIBLES CON LA OPERACION DEL MICROSCOPIO EN UHV.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: UNIVERSIDAD AUTONOMA DE MADRID.
Nacionalidad solicitante: España.
Provincia: MADRID.
Inventor/es: BARO VIDAL, ARTURO, WEN HAO, HUAN.
Fecha de Solicitud: 7 de Marzo de 1991.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 3 de Junio de 1992.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/26 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Microscopios electrónicos o iónicos; Tubos de difracción de electrones o de iones.
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