METODO DE FABRICACION DE UNA PUNTA EMISORA DE ELECTRONES PARA UN MICROSCOPIO DE EXPLORACION POR EFECTO TUNEL.
METODO DE FABRICAR UNA PUNTA EMISORA DE ELECTRONES PARA UN MICROSCOPIO DE EXPLORACION POR EFECTO TUNEL.
SE FABRICA UNA PUNTA EMISORA DE ELECTRONES PARA UN MICROSCOPIO DE EXPLORACION POR EFECTO TUNEL QUE CONSTA DE UNA PASTILLA SEMICONDUCTORA (7) EN CUYO INTERIOR SE GRABAN QUIMICAMENTE UNAS RANURAS A FIN DE FORMAR UNA SECCION CENTRAL (1) ENLAZADA POR UN PRIMER PAR DE BANDAS (2, 3) A UNA SECCION INTERMEDIA (4), LA CUAL, A SU VEZ, ESTA ENLAZADA POR UN SEGUNDO PAR DE BANDAS (5, 6) AL CUERPO PRINCIPAL DE LA PASTILLA (7). LOS PARES DE BANDAS (2, 3, 5, 6) TIENEN DIRECCIONES MUTUAMENTE ORTOGONALES PARA PERMITIR QUE LA SECCION CENTRAL (1) REALICE MOVIMIENTOS EN LAS DIRECCIONES X E Y BAJO EL CONTROL DE FUERZAS ELECTROSTATICAS CREADAS ENTRE LAS BANDAS (2, 3; 5, 6) Y SUS PAREDES OPUESTAS.
Tipo: Resumen de patente/invención.
Solicitante: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION.
Nacionalidad solicitante: Estados Unidos de América.
Dirección: ARMONK, NUEVA YORK 10504, E.U.A..
Fecha de Solicitud: 30 de Octubre de 1986.
Fecha de Publicación: .
Fecha de Concesión: 12 de Enero de 1988.
Clasificación Internacional de Patentes:
- H01J37/26 ELECTRICIDAD. › H01 ELEMENTOS ELECTRICOS BASICOS. › H01J TUBOS DE DESCARGA ELECTRICA O LAMPARAS DE DESCARGA ELECTRICA (espinterómetros H01T; lámparas de arco, con electrodos consumibles H05B; aceleradores de partículas H05H). › H01J 37/00 Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento (H01J 33/00, H01J 40/00, H01J 41/00, H01J 47/00, H01J 49/00 tienen prioridad). › Microscopios electrónicos o iónicos; Tubos de difracción de electrones o de iones.
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